轴

型号

通孔尺寸[mm]

位移[μm]

分辨率[nm]

谐振频率[kHz]

承载[kg]

X轴

P12.X100

Φ25/Φ35

100

4

0.23

0.8

P12A.X100

45×45

100

4

0.23

0.7

P12A.X200

45×45

200

2

0.16

0.5

P18.X200

ф35

250

2

0.5

2

P18.X300

ф35

±187.5

3

0.6

3.5

XP-780.X

25×25

200

2

0.2

5

Z轴

P12.Z100

Φ25/Φ35 

100

1

0.22

0.8

P12.Z200

Φ25/Φ35 

200

2

0.15

0.5

P12.Z300

Φ25/Φ35 

300

2.5

0.1

0.4

P12A.Z100

45×45

100

1

0.2

0.7

P12A.Z200

45×45

200

2

0.16

0.5

P12A.Z400

45×45

400

3.5

0.13

0.4

P12A.Z600

45×45

600

5

0.08

0.3

P18.Z200

Φ35

200

1

0.3

P70.Z8

Φ12

8

0.6

3.6

0.2

P77.S/K242

Φ242

17.5

0.2

3.09

15

P77.30S/K140

Φ140

16/32

0.2

0.2

5 

P77.S/K310

Φ310

17 

0.2

1.5

12

P77.S/K154

Φ310

20

0.2

1.3

25

P77.S/K106

Φ106 

17.5

0.2

0.3

15

P77.S/K106A

Φ106

17.5

0.2

0.15

10

P77.S/K36

Φ36

17.5

0.2

0.3

7

P77.S/K160

Φ160

17.5

0.2

0.14

10

P77.S/K160A

Φ160

17.5

0.5

0.12

10

P77.S/K210

Φ210

17.5

0.2

0.1

10

P77.50S/K85

Φ85

50

0.4

1.1

3

P77A.K65

Φ65

20

0.2

1.4

5

P77A.50K65

Φ65

50

0.5

1.4

3

P77A.100S/K75

Φ75

100

1

0.35

3

P78.Z100

120×70

100

1

0.4

1

P78.Z200

64×64

187.5

1.5

0.27

1

P78.Z300

64×64

262.5

2.5

0.2

0.5

P78A.Z200

Φ25

200

3

-

2

P79.Z100

83×65 

100

1

0.2

2

P79.Z200

83×65 

187.5

1.5

0.15

1.5

P79.Z200-D1

86.5x128.5 

200

0.1

1.5