P18.X300一维X向压电扫描台±187.5μm 中孔ф35mm当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P18.X300一维X向压电扫描台±187.5μm 中孔ф35mm
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P18.X300一维X轴压电扫描台,内置高性能压电陶瓷作为驱动元件,采用SGS传感器闭环,实现精密高速定位运动,产品结构紧凑,易于集成,具有较高的重复定位精度和动态定位性能。


产品特点


 一维X向运动,行程±187.5μm

 承载3.5kg

 通孔尺寸:Ø35mm

 闭环重复定位精度高

 响应速度快

 真空版本可选 

 

 


产品运动示意图

台体采用放大机构设计,运动行程范围大

大负载、频率响、高分辨率

    P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动,运动直线性好,可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。 P18.XY200采用独特的结构设计,具有大刚度、大出力、大承载等特点,承载达2kg,空载谐振频率达500Hz,配套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms,是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用。

平稳和准确的扫描圆形驱动

    精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。

应用实例-纳米光刻

    在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动,从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线


产品应用


 图像处理与稳定

 精密定位

 扫描显微

 干涉/计量

 半导体测量

 表面检测

 光学计量

 光学显微成像

 SPM扫描显微镜

 掩模/晶圆定位

 生物技术

 表面结构分析

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

P18.X300S

P18.X300K

单位

尾缀K-开环

  运动自由度

X

X

 

  运动和定位

  驱动控制

2 路驱动,1路传感

2 路驱动

  标称行程范围(0~120V

±150

±150

µm±10%

  行程范围(0~150V

±187.5

±187.5

µm±10%

  传感器类型

SGS

-

 

  通孔尺寸

Ø35

Ø35

mm

  分辨率

10

3

nmtyp.

  闭环线性度

0.2

-

%F.S.

  闭环重复定位精度

0.15

-

%F.S.

  俯仰/偏航/滚动

<15

<15

µrad

  机械性能

  运动方向推/拉力

150/150

150/150

N

  运动方向刚度

0.5

0.5

N/µm±20%

  空载谐振频率

0.6

0.6

kHz±20%

  空载阶跃时间

30

10

ms±20%

  闭环工作频率(-3dB)

-

-

Hz±20%

  承载能力

3.5

3.5

Kg

  驱动性能

  静电容量

21.6

21.6

μF±20%

  其他

  工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

  材质

 

  外形尺寸(长×宽×高)

100×100×15

100×100×15

mm

  重量

220

220

g±5%

  出线长

1.5

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器***

LEMO

LEMO

** 可定制低温版本及高真空版本。 

***连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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