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      电容式非接触式测微仪,通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移,测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组成,可组成多测量通道数。

      它基于一个理想的平行板电容器原理,传感器与相对面被测目标形成的两个电极,采用保护环电容器原理,用于测量任何金属时,传感器仍是线性的。

 

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压电 · 纳米 · 定位

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