P12.XY100二维压电扫描台
P12.XY100为二维直线扫描台,内置高可靠性压电陶瓷,运动直线性好,台体中心圆形通孔孔径可选25mm 或35mm,满足精密加工、扫描显微等应用。
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开/闭环曲线
注:施加至压电陶瓷的电压约为输入控制电压的12倍。
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闭环线性度
技术参数
型号:P12.XY100 运动自由度:X、Y 行程范围@120V:80μm/轴 行程范围@150V:100μm/轴 闭环传感器:SGS 通孔尺寸:Ø25/Ø35mm 闭/开环分辨率:7/4nm 闭环线性度:0.1%F.S. 闭环重复定位精度:0.05%F.S. 推/拉力:25/8N 刚度:0.2N/μm 空载谐振频率:X180/Y230Hz 闭/开环空载阶跃时间:15/0.8ms 承载:0.7kg 静电容量:1.8μF/轴 材质:钢、铝 重量:200g