纳米光刻中的压电扫描台
更新时间：2020-04-20 09:39:23点击次数：2782次
P12.XY100为二维直线扫描台，内置高可靠性压电陶瓷，运动直线性好，台体中心圆形通孔孔径可选25mm 或35mm，满足精密加工、扫描显微等应用。
1
开/闭环曲线
注：施加至压电陶瓷的电压约为输入控制电压的12倍。
2
闭环线性度
型号：P12.XY100 运动自由度：X、Y 行程范围@120V：80μm/轴 行程范围@150V：100μm/轴 闭环传感器：SGS 通孔尺寸：Ø25/Ø35mm 闭/开环分辨率：7/4nm 闭环线性度：0.1%F.S. 闭环重复定位精度：0.05%F.S. 推/拉力：25/8N 刚度：0.2N/μm 空载谐振频率：X180/Y230Hz 闭/开环空载阶跃时间：15/0.8ms 承载：0.7kg 静电容量：1.8μF/轴 材质：钢、铝 重量：200g
