激光直写系统基本原理结构
图1 激光直写系统结构简图
激光直写系统现有技术存在的问题
芯明天压电扫描台简介
Piezo Nanopositioning Stages with Aperture
P12A系列压电扫描台
运动自由度:XYZ
行程:100μm/轴
分辨率:7/4nm
中心通孔:45×45mm
承载能力:0.5kg
P15系列压电扫描台
运动自由度:XYZ
行程:300μm/轴
分辨率:13/6nm
中心通孔:66×66mm
承载能力:0.5kg
P17.XY200系列压电扫描台
运动自由度:XY
行程:187.5μm/轴
分辨率:8/5nm
中心通孔:60×60mm
承载能力:1kg
P78.Z200/300系列压电扫描台
运动自由度:Z
行程:187.5μm/262.5μm
分辨率:7/3nm
中心通孔:64×64mm
承载能力:1kg