P77A.K65压电移相器 一维Z向 20μm 中孔Ø65mm当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77A.K65压电移相器 一维Z向 20μm 中孔Ø65mm
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P77A.K65 压电移相器是专为光学检测移相应用而设计,行程范围可达 20µm,负载能力达 3kg,非常适于镜头 的光学检测设备。


产品特点


 行程范围:0~20µm

 孔尺寸:Φ65mm

 负载能力:3kg 

 外形尺寸:Φ105×35mm

 真空版本可选




30nm步进曲线

位移与电压曲线

    技术参数

型号

P77A.K65

单位

运动自由度

Z

 

标称行程范围(0~120V)

16

μm±10%

行程范围(0~150V)

20

μm±10%

传感器类型

-

 

通孔尺寸

Φ65

mm

长或外径

Φ105

mm

35

mm

分辨率

0.5/0.2

nm

闭环线性度

-

%F.S.

闭环重复定位精度

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

μrad

推/拉力

100/20

N

空载谐振频率

1400

Hz±20%

空载阶跃时间

1

ms±20%

闭环空载工作频率

10%行程

-

Hz±20%

100%行程

-

承载能力

正立5

卧式2

倒置3

kg

静电容量

1.8

μF±20%

材质

-

 

重量

670

g±5%

工作温度范围

-20~80

控制

2路控制

 

连接器

LEMO

 

出线长

1.5

m±10mm

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

     三维图演示

应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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