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P77A.K65 压电移相器是专为光学检测移相应用而设计，行程范围可达 20µm，负载能力达 5kg，非常适于镜头 的光学检测设备。
产品特点
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 真空版本可选 |
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30nm步进曲线 
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位移与电压曲线 
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P77A.K65 |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
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标称行程范围（0~120V） |
16 |
μm±10% |
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行程范围（0~150V） |
20 |
μm±10% |
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传感器类型 |
- |
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通孔尺寸 |
Φ65 |
mm |
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长或外径 |
Φ105 |
mm |
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高 |
35 |
mm |
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分辨率 |
0.5/0.2 |
nm |
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闭环线性度 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
μrad |
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推/拉力 |
100/20 |
N |
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空载谐振频率 |
1400 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
1 |
ms±20% |
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闭环空载工作频率 |
10%行程 |
- |
Hz±20% |
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100%行程 |
- |
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承载能力 |
正立5 卧式2 倒置3 |
kg |
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静电容量 |
1.8 |
μF±20% |
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材质 |
- |
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重量 |
670 |
g±5% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
℃ |
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控制 |
2路控制 |
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连接器 |
LEMO |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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