- 产品介绍
- 应用
- 意见反馈
P77.S/K65 大负载压电纳米定位台/移相器是专为光学检测移相应用而设计，行程范围可达 20µm，负载能力达 5kg，非常适于镜头 的光学检测设备。
产品特点
|
|
|
|
|
 真空版本可选 |
|
|
|
|
30nm步进曲线 
|
位移与电压曲线 
|
| 技术参数 | ||||
|
型号 |
P77.S65 |
P77.K65 |
单位 |
|
|
运动自由度 |
Z |
Z |
|
|
|
标称行程范围（0~120V） |
13.5 |
13.5 |
μm±10% |
|
|
Max.行程范围（0~150V） |
17 |
17 |
μm±10% |
|
|
传感器类型 |
SGS |
- |
|
|
|
通孔尺寸 |
Φ65 |
Φ65 |
mm |
|
|
长或外径 |
Φ105 |
Φ105 |
mm |
|
|
高 |
35 |
35 |
mm |
|
|
分辨率 |
0.5 |
0.2 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
- |
- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
- |
- |
%F.S. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
μrad |
|
|
推/拉力 |
100/30 |
100/30 |
N |
|
|
空载谐振频率 |
1400 |
1400 |
Hz±20% |
|
|
空载阶跃时间 |
1 |
1 |
ms±20% |
|
|
闭环空载工作频率 |
10%行程 |
- |
- |
Hz±20% |
|
100%行程 |
- |
- |
||
|
承载能力 |
水平安装 | 5 |
5 |
kg |
| 立式安装 | 2 | 2 | ||
| 倒置安装 | 3 | 3 | ||
|
静电容量 |
3.6 |
3.6 |
μF±20% |
|
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
|
重量 |
670 |
670 |
g±5% |
|
|
工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
|
|
控制 |
2路控制 |
2路控制 |
|
|
|
连接器 |
LEMO |
LEMO |
|
|
|
出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
 |
 |
 |
| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
||
应用案例
|
笼式结构 
|
低温真空 
|
纳米压印 
|
|
超分辨率显微成像 
|
红外超分辨率成像 
|
激光直写 
|
|
提高CCD分辨率 
|
干涉测量 
|
显微镜探针校准 
|
|
纳米光刻 
|
