P77.S106 P77.K106 大负载压电纳米定位台/移相器一维Z向 17.5μm 中孔ф106mm当前位置：产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77.S106 P77.K106 大负载压电纳米定位台/移相器一维Z向 17.5μm 中孔ф106mm

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P77.S/K106 大负载压电纳米定位台/移相器为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z轴17.5μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器。

P77.S/K106 一维Z轴压电扫描台，闭环扫描台精度高，直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域。

产品特点

一维Z向运动	行程17.5μm	响应速度快	通孔直径：Ø106mm
闭环重复定位精度高	亚纳米级分辨率	真空版本可选

外观形状

产品运动示意图

闭环曲线

大孔径、大承载、高谐振频率

P77.S/K106 压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计，利用有限元分析优化，刚度可达8N/μm，空载谐振频率300Hz。
闭环版本内置高精度传感器，对位移实时监测反馈，可实现纳米级的重复定位精度及线性度。
压电扫描台中心106mm的大通光孔，是光学移相器，该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。

推荐控制器

应用案例-大孔径干涉仪

芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特点广泛应用于现代干涉仪中，提高了干涉仪的测量精度。

频率负载曲线

产品应用

图像处理与稳定	移相器	精密定位	光学捕获
扫描显微	干涉/计量	半导体测试	表面检测
光学计量	光学显微成像	SPM扫描显微镜	掩模/晶圆定位

技术参数
型号	尾缀S-闭环	P77.S106	P77.K106	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		Z	Z
运动和定位
标称行程范围（0~120V）		14	14	µm±10%
Max.行程范围（0~150V）		17.5	17.5	µm±10%
传感器类型		SGS	-
通孔尺寸		Ø106	Ø106	mm
分辨率		0.5	0.2	nm，typ.
俯仰/偏航/滚动		<10	<10	µrad
机械性能
运动方向推/拉力		100/100	100/100	N
空载谐振频率		0.3	0.3	kHz±20%
空载阶跃时间		5	2.5	ms±20%
空载工作频率*	10%行程	60	>60	Hz±20%
	100%行程	10	>10
承载能力	水平安装	15	15	Kg
	立式安装	5	5
	倒置安装	10	10
驱动性能
静电容量		5.4	5.4	μF±20%
其他
工作温度范围**		-20~80	-20~80	°C
材质		铝	铝
重量		1600	1600	g±5%
出线长		1.5	1.5	m±10mm
传感/电压连接器***		LEMO	LEMO

*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。

** 可定制低温版本及高真空版本。

***连接器可定制。

注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。

注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

安装方向	水平安装	立式安装	倒置安装
释义	将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT 平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向	将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载	将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方
示意图
备注	当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口

尺寸图 (点击图片可放大查看)

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参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

应用案例

笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻