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P78 压电扫描台对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。可选配桥式配置的闭环传感器，可消除温度漂移，保证了纳米范围的定位稳定性。同时，通过 FEA 优化了直线度与平面度，并为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。结构更紧凑、响应速度更快。
P78.Z200为一维Z轴压电扫描台，中心具有通孔，扫描范围可达187.5μm，闭环扫描台精度高，直线运动无偏航。
产品特点
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外观形状 
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产品运动示意图 
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台体采用机构放大式驱动设计，行程范围大 
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大通孔、大位移、高分辨、高精度
P78.Z300压电扫描台，采用机构放大设计原理，可以实现Z轴262.5μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构 采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应时间。 |
闭环重复定位精度高 P78.Z300压电扫描台满幅值262.5μm的闭环重复定位精度为 0.05%。 
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谐振频率与负载曲线 
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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P78系列产品
P78系列压电扫描台包含187.5μm与262.5μm两种运动行程的种规格型号。
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P78.Z200S |
P78.Z200K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
150 |
150 |
µm±10% |
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行程范围（0~150V） |
187.5 |
187.5 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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通孔尺寸 |
64×64 |
64×64 |
mm |
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分辨率 |
5 |
1.5 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
<20 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
50/8 |
50/8 |
N |
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运动方向刚度 |
0.35 |
0.35 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
270 |
270 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
15 |
3.2 |
ms±20% |
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承载能力 |
1 |
1 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
14.4 |
14.4 |
μF±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
100×100×30 |
100×100×30 |
mm |
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重量 |
340 |
340 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
