P78.Z一维Z向大负载压电纳米定位台 262.5μm 中孔64mm×64mm当前位置：产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P78.Z一维Z向大负载压电纳米定位台 262.5μm 中孔64mm×64mm

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P78系列大负载压电纳米定位台为一维Z轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现Z轴187.5μm或262.5μm的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。

P78.Z300为一维Z轴大负载压电纳米定位台，中心具有通孔，扫描范围可达262.5μm，闭环扫描台精度更高，直线运动无偏航。

产品特点

一维Z向运动	行程可达262.5μm	承载可达0.5kg	通孔直径：64×64mm
亚纳米级分辨率	开环、闭环可选	闭环重复定位精度高	真空版本可选

外观形状

产品运动示意图

台体采用机构放大式驱动设计，行程范围大

大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78.Z300压电扫描台，采用机构放大设计原理，可以实现Z轴262.5μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应时间。
P78系列压电扫描台可选择配置闭环传感器，对位移实现实时监测并反馈给闭环压电控制器，实现纳米级精密控制。扫描台台体中心通孔尺寸64×64mm，适用于干涉、扫描、表面检测等应用。

闭环重复定位精度高

P78.Z300压电扫描台满幅值262.5μm的闭环重复定位精度为 0.05%。

位移与电压曲线

线性度曲线

产品应用

AFM	移相器	精密定位	光学捕获
扫描显微	半导体测试	表面检测	光学计量
光学显微成像	SPM扫描显微	掩模/晶圆定位	生物技术

P78系列产品

P78系列压电扫描台包含187.5μm与262.5μm两种运动行程的种规格型号。


P78.Z200一维 187.5μm运动范围	P78.Z300一维 262.5μm运动范围

技术参数
型号	尾缀S-闭环	P78.Z300S	P78.Z300K	单位
型号	尾缀K-开环	P78.Z300S	P78.Z300K	单位
运动自由度		Z	Z
驱动控制		1路驱动，1路传感	1路驱动
标称行程范围（0~120V）		210	210	µm±10%
Max.行程范围（0~150V）		262.5	262.5	µm±10%
传感器类型		SGS	-
通孔尺寸		64×64	64×64	mm
分辨率		7	2.5	nm，typ.
闭环线性度		0.15	-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.1	-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<30	<30	µrad
机械性能
运动方向推/拉力		30/5	30/5	N
运动方向刚度		0.15	0.15	N/µm±20%
空载谐振频率		200	200	Hz±20%
空载阶跃时间		50	6.4	ms±20%
承载能力	水平安装	0.5	0.5	Kg
	立式安装	0.01	0.01
	倒置安装	0.1	0.1
驱动性能
静电容量		14.4	14.4	μF±20%
其他
工作温度范围**		-20~80	-20~80	°C
材质		铝	铝
外形尺寸（长×宽×高）		100×100×30	100×100×30	mm
重量		340	340	g±5%
出线长		1.5	1.5	m±10mm
传感/电压连接器***		LEMO	LEMO

** 可定制低温版本及高真空版本。

***连接器可定制。

注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。

注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

安装方向	水平安装	立式安装	倒置安装
释义	将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT 平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向	将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载	将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方
示意图
备注	当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口

尺寸图 (点击图片可放大查看)

尺寸图、参数表、使用说明书下载
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参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

应用案例

笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻