一维中空式压电扫描台-芯明天-专业生产各种压电平移台、纳米定位台、压电纳米定位台、压电定位台产品，压电扫描台、压电物镜定位器、快速刀具定位器、快刀伺服系统、接受

P12.Z为一维Z轴小体积压电纳米定位台，结构紧凑，外形尺寸60×60×24mm或70x70x24mm（对应不同中心孔尺寸），行程可达300μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，台体中心中孔尺寸为Φ25mm或Φ35mm，适合于显微及扫描中的样品定位。

产品特点

一维Z向运动	行程100/200/300μm可选	承载0.8kg	通孔尺寸：Ø25mm或Ø35mm可选
闭环重复定位精度高	响应速度快	真空版本可选

产品实物图

产品运动示意图

台体采用放大机构设计，运动行程范围大

小体积、大位移、中心通孔

P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，较小的体积外形，尺寸仅为60×60×24mm，P12.XYZ可以实现100μm/轴的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔对应台体外形尺寸为70×70×24mm。
台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、高导向精度、纳米级分辨率等优点。
P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷，扫描台的可靠性与稳定性。

平稳和准确的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。

P12.Z100位移与电压曲线

P12.Z100谐振频率与负载曲线

P12.Z100线性度曲线

产品应用

图像处理与稳定	精密定位	光学捕获	扫描显微
干涉/计量	半导体测量	表面检测	光学计量
光学显微成像	SPM扫描显微镜	掩模/晶圆定位	表面结构分析

相关产品

P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时，P12具有两种通孔直径可供选择，分别为25mm、35mm。


P12.X一维 100μm运动范围	P12.Z一维 100/200/300μm运动范围	P12.XY二维 100μm/轴运动范围	P12.XZ二维 100μm/轴运动范围	P12.XYZ三维 100μm/轴运动范围

技术参数
型号	尾缀S-闭环	P12.Z100S P12.Z100K	P12.Z100S-D P12.Z100K-D	P12.Z200S P12.Z200K	P12.Z200S-D P12.Z200K-D	P12.Z300S P12.Z300K	P12.Z300S-D P12.Z300K-D	单位
型号	尾缀K-开环	P12.Z100S P12.Z100K	P12.Z100S-D P12.Z100K-D	P12.Z200S P12.Z200K	P12.Z200S-D P12.Z200K-D	P12.Z300S P12.Z300K	P12.Z300S-D P12.Z300K-D	单位
运动自由度		Z	Z	Z	Z	Z	Z
驱动控制		1路驱动，1路传感	1路驱动，1路传感	1路驱动，1路传感	1路驱动，1路传感	1路驱动，1路传感	1路驱动，1路传感
标称行程范围（0~120V）		80	80	160	160	240	240	µm±10%
Max.行程范围（0~150V）		100	100	200	200	300	300	µm±10%
传感器类型		SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
通孔尺寸		Ø25	Ø35	Ø25	Ø35	Ø25	Ø35	mm
闭/开环分辨率		3/1	3/1	5.5/2	5.5/2	8/2.5	8/2.5	nm，typ.
闭环线性度		0.05/-	0.05/-	0.1/-	0.1/-	0.15/-	0.15/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.02/-	0.02/-	0.05/-	0.05/-	0.1/-	0.1/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<10	<10	<15	<15	<15	<15	µrad
机械性能
运动方向推/拉力		30/10	30/10	30/10	30/10	30/10	30/10	N
运动方向刚度		0.3	0.3	0.2	0.2	0.1	0.1	N/µm±20%
空载谐振频率		0.22	0.22	0.15	0.15	0.1	0.1	kHz±20%
闭/开环空载阶跃时间		10/0.8	10/0.8	15/1.6	15/1.6	30/2.4	30/2.4	ms±20%
承载能力	水平安装	0.8	0.8	0.5	0.5	0.4	0.4	Kg
	立式安装	0.05	0.05	0.04	0.04	0.03	0.03
	倒置安装	0.05	0.05	0.04	0.04	0.03	0.03
静电容量		1.8	1.8	3.6	3.6	5.4	5.4	μF±20%
材质		钢、铝	钢、铝	钢、铝	钢、铝	钢、铝	钢、铝
重量		140	140	200	200	260	260	g±5%

*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。

** 可定制低温版本及高真空版本。

***连接器可定制。

注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。

注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

安装方向	水平安装	立式安装	倒置安装
释义	将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT 平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向	将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载	将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方
示意图
备注	当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口

中孔φ25版本尺寸图 (点击图片可放大查看)

中孔φ35版本尺寸图 (点击图片可放大查看)

尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet	P12.Z100 φ25	P12.Z200 φ25	P12.Z300 φ25
参数表/Specs Sheet	P12.Z100 φ35	P12.Z200 φ35	P12.Z300 φ35
使用说明书/Manual

应用案例

笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻