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P12.Z为一维Z轴压电扫描台，结构紧凑，外形尺寸60×60×24mm或70x70x24mm（对应不同中心孔尺寸），行程可达300μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，台体中心中孔尺寸为Φ25mm或Φ35mm，适合于显微及扫描中的样品定位。
产品特点
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产品实物图 
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产品运动示意图 
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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小体积、大位移、中心通孔
P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，较小的体积外形，尺寸仅为60×60×24mm，P12.XYZ可以实现100μm/轴的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔对应台体外形尺寸为70×70×24mm。 |
平稳和准确的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。 
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P12.Z100位移与电压曲线 
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P12.Z100谐振频率与负载曲线 
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P12.Z100线性度曲线 
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产品应用
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相关产品
P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时，P12具有两种通孔直径可供选择，分别为25mm、35mm。
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| 技术参数 | |||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.Z100S |
P12.Z200S |
P12.Z300S |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 | 1路驱动，1路传感 | 1路驱动，1路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
160 |
240 |
µm±10% |
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行程范围（0~150V） |
100 |
200 |
300 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Ø25（Ø35可选） |
Ø25（Ø35可选） |
Ø25（Ø35可选） |
mm |
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闭/开环分辨率 |
3/1 |
5.5/2 |
8/2.5 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.05/- |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.02/- |
0.05/- |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<15 |
<15 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
30/10 |
N |
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运动方向刚度 |
0.3 |
0.2 |
0.1 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.22 |
0.15 |
0.1 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
10/0.8 |
15/1.6 |
30/2.4 |
ms±20% |
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闭环工作频率（-3dB） |
- |
- |
- |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.8 |
0.5 |
0.4 |
Kg |
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静电容量 |
1.8 |
3.6 |
5.4 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
140 |
200 |
260 |
g±5% |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
