P12.XY二维XY轴压电扫描台,结构紧凑,外形尺寸60×60×24mm或70x70x24mm(对应不同中心孔尺寸),行程可达110μm/轴。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间,台体中心中孔尺寸达Φ25mm或Φ35mm,适合于显微及扫描中的样品定位。
产品特点
二维XY向运动 |
行程100μm/轴 |
承载0.7kg |
通孔尺寸:Ø25mm/Ø35mm |
闭环重复定位精度高 |
响应速度快 |
真空版本可选 |
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产品实物图 |
产品运动示意图 |
台体采用放大机构设计,运动行程范围大 |
小体积、大位移、中心通孔
P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理,较小的体积外形,尺寸仅为60×60×24mm,P12.XYZ可以实现100μm/轴的扫描范围,中心通孔可选25mm或35mm,35mm通孔对应台体外形尺寸为70×70×24mm。 |
平稳和准确的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。 |
产品应用
图像处理与稳定 |
精密定位 |
光学捕获 |
扫描显微 |
干涉/计量 |
半导体测量 |
表面检测 |
光学计量 |
光学显微成像 |
SPM扫描显微镜 |
掩模/晶圆定位 |
表面结构分析 |
相关产品
P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式,可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时,P12具有两种通孔直径可供选择,分别为25mm、35mm。
技术参数 | ||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.XY100S |
P12.XY100K |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X,Y |
X,Y |
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驱动控制 |
2路驱动,2路传感 | 2路驱动,2路传感 |
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标称行程范围(0~120V) |
80 |
80 |
µm/轴±10% |
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行程范围(0~150V) |
100 |
100 |
µm/轴±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
Ø25(Ø35可选) |
Ø25(Ø35可选) |
mm |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm,typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
||||
运动方向推/拉力 |
25/8 |
25/8 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.25/Y0.3 |
X0.25/Y0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.18/Y0.23 |
X0.18/Y0.23 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
15 |
0.8 |
ms±20% |
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闭环工作频率(-3dB) |
50(空载) |
50(空载) |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.7 |
0.7 |
Kg |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF/轴±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
200 |
200 |
g±5% |
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |