P12.X为一维X轴压电扫描台,结构紧凑,外形尺寸60×60×24mm或70x70x24mm(对应不同中心孔尺寸),行程可达100μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间,台体中心中孔尺寸Φ25mm或φ35,适合于显微及扫描中的样品定位。
产品特点
一维X向运动 |
行程100μm/轴 |
承载0.8kg |
通孔尺寸:Ø25mm(Ø35mm可选 ) |
闭环重复定位精度高 |
响应速度快 |
真空版本可选 |
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产品应用
图像处理与稳定 |
精密定位 |
光学捕获 |
扫描显微 |
干涉/计量 |
半导体测量 |
表面检测 |
光学计量 |
光学显微成像 |
SPM扫描显微镜 |
掩模/晶圆定位 |
表面结构分析 |
相关产品
P12系列压电扫描台包括X/XY/XZ/XYZ四种运动结构形式,可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。同时,P12具有两种通孔直径可供选择,分别为25mm、35mm。
技术参数 | ||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.X100S |
P12.X100K |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X |
X |
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运动和定位 |
||||
标称行程范围(0~120V) |
80 |
80 |
µm±10% |
|
行程范围(0~150V) |
100 |
100 |
µm±10% |
|
传感器类型 |
SGS |
- |
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|
通孔尺寸 |
Ø25或Ø35 |
Ø25或Ø35 |
mm |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm,typ. |
|
闭环线性度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.02 |
- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
||||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.23 |
0.23 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
10 |
0.8 |
ms±20% |
|
闭环工作频率(-3dB) |
- |
- |
Hz±20% |
|
承载能力 |
0.8 |
0.8 |
Kg |
|
静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF/轴±20% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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|
重量 |
140 |
140 |
g±5% |
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |