P12A 系列压电扫描台 位移可达200、400、600μm当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P12A 系列压电扫描台 位移可达200、400、600μm
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P12A 系列压电扫描台包含 X、Z、XY、XZ、XYZ 五种规格型号 , 外观相同。


产品特点


  一至三维运动版本可选

 单轴行程可达600μm

 三轴行程可达200μm/轴

 中心通孔45×45mm

 可选配闭环传感器

 真空版本可选

 

 


台体采用放大机构设计,运动行程范围大

带载阶跃时间

闭环传感定位精度高

P12A系列压电扫描台配置高分辨率传感器,对位置实时检测并反馈到压电控制器,控制器通过 PID 算法调整电压修正位移,从而实现高精度定位。


产品应用


 扫描显微

 共焦显微

 晶圆定位

 表面测量

 半导体测试

 图像处理与稳定


P12A全系列产品


P12A系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。

P12A.X一维 100μm运动范围

P12A.Z一维 100/200/300μm运动范围

P12A.XY二维 100μm/轴运动范围

P12A.XZ二维 100μm/轴运动范围

P12A.XYZ三维 100μm/轴运动范围

P12A 200μm、400μm、600μm

运动范围

    技术参数

型号

尾缀S-闭环
尾缀K-开环

P12A.X200S
P12A.X200K

P12A.Z200S
P12A.Z200K

P12A.Z400S
P12A.Z400K

P12A.Z600S
P12A.Z600K

P12A.XY200S
P12A.XY200K

P12A.XZ200S
P12A.XZ200K

P12A.XYZ200S
P12A.XYZ200K

单位

运动自由度

X

Z

Z

Z

X、Y

X、Z

X、Y、Z

 

标称行程范围(0~120V)

160

160

320

480

160/轴

160/轴

160/轴

μm±20%

行程范围(0~150V)

200

200

400

600

200/轴

200/轴

200/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

分辨率

5.5/2

5.5/2

11/3.5

16/5

5.5/2

5.5/2

5.5/2

nm

闭环线性度

0.3/-

0.3/-

0.4/-

0.5/-

0.4/-

0.4/-

0.5/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.2/-

0.2/-

0.3/-

0.4/-

0.3/-

0.3/-

0.4/-

%F.S.

空载谐振频率

160

160

130

80

X160/Y140

X160/Z140

X150/Y130/Z90

Hz±20%

承载能力

0.5

0.5

0.4

0.3

0.4

0.4

0.3

kg±5%

静电容量

7.2

7.2

14.4

21.6

7.2/轴

7.2/轴

7.2/轴

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

Auto CAD PDF


Step

/

/

/

/

参数表/Specs Sheet


注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    尺寸图、参数表、使用说明书下载
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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