P77.S160 P77.K160压电移相器 一维Z向 17.5μm 中孔Ø160mm当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77.S160 P77.K160压电移相器 一维Z向 17.5μm 中孔Ø160mm
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P77.K160压电式移相器是专为大口径光学检测仪器而设计的,中心通孔直径达160mm,承载能力可达10kg。台体配有连接器接口,方便连接。


产品特点


 行程可达17.5μm

 承载可达10kg

 通孔直径Ø160mm

 可正立/侧卧/倒置使用

 真空版本可选





位移与电压曲线

    技术参数

型号

P77.S160
P77.K160

单位

  运动自由度

Z

  

  行程范围(0~120V)

14

µm±10%

  行程范围(0~150V)

17.5

µm±10%

  分辨率

0.5/0.2

nm,typ.

  俯仰/偏航/滚动

<10

µrad

  空载谐振频率

0.14

kHz±20%

  空载阶跃时间

2.5

ms±20%

  承载能力

正立10/卧式5/倒置5

Kg

  静电容量

5.4

μF±20%

  工作温度范围

-20~80

°C

  材质

钢、铝

  

  外形尺寸(长×宽×高) 

200×200×37

mm

  通孔尺寸

Ø160

mm

  重量

2400

g±5%

  出线长

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器

LEMO

 

  使用方式

正立/倒置/卧式

 

  控制

1或3路控制

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     尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

     三维图演示

应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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1路输出
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压电控制器

3路输出
模拟控制
闭环
平均电流25mA


工业式压电控制器

1路输出
模拟、旋钮、I/O控制
开环/闭环
平均功率6W

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    经销商 最终用户
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