P79.Z100 P79.Z200 压电显微样品台(放大机构式)当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P79.Z100 P79.Z200 压电显微样品台(放大机构式)
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P79 系列压电显微样品台为一维至三维微动平台,主要用于配套宏动 XY 轴显微扫描台以及市面上压电马达平台使用。当宏动 XY 轴平台定位样品之后,P79 平台可以对其进行 XYZ 轴快速精密的聚焦调节,阶跃时间达毫秒量级。


产品特点


 位移可达 187.5μm

 承载能力 2kg

 通孔尺寸:83x65mm

 闭环重复定位精度高

 开 / 闭环可选

 真空版本可选 

 

 


定制培养皿放置架

产品运动示意图

放大机构式驱动示意图

大通孔、快速聚焦、Z 向捕获、超精密导向机构

P79 系列压电扫描台,大通孔设计主要是为了满足各种样品 夹持结构,如多井控制盘。

压电陶瓷驱动具有超快的响应速度,Z 轴步进速度和稳定时 间仅为马达驱动的 1/20,大大提高了成像捕获能力和生产能力。

两款规格型号、开闭环可选

P79 系列 Z 向扫描台有两款规格型号,Z 向位移可选 100μm、187.5μm或200μm,闭环版本可实现超高的定位精度。

表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命

压电扫描台采用高一致性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷,陶瓷抵抗外部环境的能力非常高且无漏电现象。

P79.Z100位移与电压曲线

P79.Z100谐振频率与负载曲线

P79.Z100线性度曲线


产品应用


 荧光显微

 共焦显微

 3D 成像

 生物科技

 自动聚焦系统

 样品检测

 光学捕获

 SPM扫描显微镜

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

P79.Z100S
P79.Z100K

P79.Z200S
P79.Z200K

单位

尾缀K-开环

  运动自由度

Z

Z

 

  运动和定位

  标称行程范围(0~120V)

80

150

µm±20%

  行程范围(0~150V)

100

187.5

µm±20%

  传感器类型

SGS/-

SGS/-

 

  通孔尺寸

83×65

83×65

mm

  闭/开环分辨率

3/1

5/1.5

nm,typ.

  闭环线性度

0.1/-

0.15/-

%F.S.

  闭环重复定位精度

0.05/-

0.1/-

%F.S.

  俯仰/偏航/滚动

<15

<20

µrad

  机械性能

  运动方向推/拉力

30/15

42/18

N

  运动方向刚度

0.3

0.2

N/µm±20%

  空载谐振频率

0.2

0.15

kHz±20%

  闭/开环空载阶跃时间

15/2.3

25/5

ms±20%

  承载能力

2

1.5

Kg

  驱动性能

  静电容量

5.4

11

μF±20%

  其他

  工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

  材质

钢、铝

钢、铝

 

  外形尺寸(长×宽×高)

180×134×24

180×134×24

mm

  重量

700

800

g±5%

  出线长

1.5

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器***

LEMO

LEMO

  位移与电压曲线

P79.Z100位移与电压曲线

P79.Z200位移与电压曲线

  谐振频率与负载曲线

P79.Z100谐振频率与负载曲线

P79.Z200谐振频率与负载曲线

  线性度曲线

P79.Z100谐振频率与负载曲线

P79.Z200谐振频率与负载曲线


    ** 可定制低温版本及高真空版本。 

    ***连接器可定制。 

    注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。 

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet

P79.Z100

P79.Z200

使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


推荐控制器

模块化压电控制器

1路输出
上位机通信、模拟、旋钮
开环/闭环
平均功率35W/7W


压电控制器

3路输出
模拟、上位机通信
开环/闭环
平均电流70mA


超小体积压电控制器

1路输出
模拟、上位机通信
开环/闭环
平均功率10W


工业式压电控制器

1路输出
模拟输入
开环/闭环
平均功率50W


压电控制器

3路输出
模拟控制
闭环
平均电流25mA


工业式压电控制器

1路输出
模拟、旋钮、I/O控制
开环/闭环
平均功率6W

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    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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