P79 系列大负载压电纳米定位台为一维至三维微动平台,主要用于配套宏动 XY 轴显微扫描台以及市面上压电马达平台使用。当宏动 XY 轴平台定位样品之后,P79 平台可以对其进行 XYZ 轴快速精密的聚焦调节,阶跃时间达毫秒量级。
产品特点
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定制培养皿放置架 ![]() |
产品运动示意图 ![]() |
放大机构式驱动示意图 ![]() |
大通孔、快速聚焦、Z 向捕获、超精密导向机构 P79 系列压电扫描台,大通孔设计主要是为了满足各种样品 夹持结构,如多井控制盘。 压电陶瓷驱动具有超快的响应速度,Z 轴步进速度和稳定时 间仅为马达驱动的 1/20,大大提高了成像捕获能力和生产能力。 |
两款规格型号、开闭环可选 P79 系列 Z 向扫描台有两款规格型号,Z 向位移可选 100μm、187.5μm或200μm,闭环版本可实现超高的定位精度。 ![]() |
表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命 压电扫描台采用高一致性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷,陶瓷抵抗外部环境的能力非常高且无漏电现象。 ![]() |
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产品应用
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技术参数 | ||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
P79.Z100S |
P79.Z200S |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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运动和定位 |
1路驱动,1路传感 | 1路驱动,1路传感 |
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标称行程范围(0~120V) |
80 |
150 |
µm±20% |
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Max.行程范围(0~150V) |
100 |
187.5 |
µm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
83×65 |
83×65 |
mm |
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闭/开环分辨率 |
3/1 |
5/1.5 |
nm,typ. |
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闭环线性度 |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<20 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
30/15 |
42/18 |
N |
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运动方向刚度 |
0.3 |
0.2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.2 |
0.15 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
15/3.2 |
25/5 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
2 |
1.5 |
Kg |
立式安装 | 0.15 | 0.1 | ||
倒置安装 | 0.3 | 0.2 | ||
驱动性能 |
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静电容量 |
7.2 |
19.2 |
μF±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸(长×宽×高) |
180×134×24 |
180×134×24 |
mm |
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重量 |
590 |
800 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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位移与电压曲线 |
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谐振频率与负载曲线 |
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线性度曲线 |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
释义 |
将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT
平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 |
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备注 |
当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 |
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应用案例
笼式结构 ![]() |
低温真空 ![]() |
纳米压印 ![]() |
超分辨率显微成像 ![]() |
红外超分辨率成像 ![]() |
激光直写 ![]() |
提高CCD分辨率 ![]() |
干涉测量 ![]() |
显微镜探针校准 ![]() |
纳米光刻 ![]() |