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P79 系列压电显微样品台为一维至三维微动平台，主要用于配套宏动 XY 轴显微扫描台以及市面上压电马达平台使用。当宏动 XY 轴平台定位样品之后，P79 平台可以对其进行 XYZ 轴快速精密的聚焦调节，阶跃时间达毫秒量级。
产品特点
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定制培养皿放置架 
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产品运动示意图 
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放大机构式驱动示意图 
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大通孔、快速聚焦、Z 向捕获、超精密导向机构 P79 系列压电扫描台，大通孔设计主要是为了满足各种样品 夹持结构，如多井控制盘。 压电陶瓷驱动具有超快的响应速度，Z 轴步进速度和稳定时 间仅为马达驱动的 1/20，大大提高了成像捕获能力和生产能力。 |
两款规格型号、开闭环可选 P79 系列 Z 向扫描台有两款规格型号，Z 向位移可选 100μm、187.5μm或200μm，闭环版本可实现超高的定位精度。 
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表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命 压电扫描台采用高一致性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷，陶瓷抵抗外部环境的能力非常高且无漏电现象。 
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P79.Z100位移与电压曲线 
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P79.Z100谐振频率与负载曲线 
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P79.Z100线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P79.Z100S |
P79.Z200S |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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运动和定位 |
1路驱动，1路传感 | 1路驱动，1路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
150 |
µm±20% |
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行程范围（0~150V） |
100 |
187.5 |
µm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
83×65 |
83×65 |
mm |
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闭/开环分辨率 |
3/1 |
5/1.5 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<20 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
30/15 |
42/18 |
N |
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运动方向刚度 |
0.3 |
0.2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.2 |
0.15 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
15/3.2 |
25/5 |
ms±20% |
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承载能力 |
2 |
1.5 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
7.2 |
19.2 |
μF±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
180×134×24 |
180×134×24 |
mm |
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重量 |
590 |
800 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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位移与电压曲线 |
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谐振频率与负载曲线 |
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线性度曲线 |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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