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P79.Z200-D1压电显微样品台
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P79 系列压电显微样品台为一维至三维微动平台,主要 用于配套宏动 XY 轴显微扫描台以及市面上压电马达平台使 用。当宏动 XY 轴平台定位样品之后,P79 平台可以对其进 行 XYZ 轴快速精密的聚焦调节,阶跃时间达毫秒量级。


产品特点


 闭环重复定位精度高

 运动自由度 Z

 承载能力 1.5kg

 位移 200μm

 真空版本可选




产品应用


 荧光显微

 共焦显微

 3D 成像

 生物科技

 自动聚焦系统

 样品检测

 


    技术参数

型号

P79.Z200S-D1
P79.Z200K-D1

单位

运动自由度

Z

 

标称行程范围(0~120V)

160

μm±20%

行程范围(0~150V)

200

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

通孔尺寸

86.5×128.5

mm

闭 / 开环分辨率

6/2

nm

闭环线性度

0.15/- 

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

%F.S.

俯仰 / 偏航 / 滚动

<20

μrad

推 / 拉力

-

N

运动方向刚度

0.2

N/μm±20%

空载谐振频率

100

Hz±20%

闭 / 开环空载阶跃时间

-/5

ms±20%

承载能力

1.5

kg

静电容量

21.6

μF±20%

材质

钢、铝

 

重量

约800

g±5%

      注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

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使用说明书/Manual

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应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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