P77A.S23 P77A.K23 大负载压电纳米定位台/移相器当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77A.S23 P77A.K23 大负载压电纳米定位台/移相器
  • 产品介绍
  • 意见反馈

       P77A.S/K23大负载压电纳米定位台/移相器是专为光学检测移相应用而设计,行程范围可达16.5µm,非常适于各种镜片、镜头的光学检测设备。可依据客户的设备应用要求量身定制。


产品特点


 行程范围:16.5μm

 通孔直径:Φ23mm

 真空版本可选

 可定制


产品应用


 显微成像

 表面检测

 移相/干涉/计量

 精密定位

 移相器

 光学捕获

 


    技术参数

型号

S-闭环
K-开环
P77A.S23
P77A.K23

单位

运动自由度

Z

Z

 

传感器类型
SGS
-

标称行程范围(0~120V)

13

13

μm±20%

Max.行程范围(0~150V)

16.5

16.5

μm±20%

通孔尺寸

Φ23

Φ23

mm

外径 Φ65
Φ65
mm
40 40 mm

分辨率

0.5

0.2

nm

俯仰/偏航/滚动

<20

<20

μrad

推/拉力

-

-

N

空载谐振频率

2675

2675

Hz±20%

空载阶跃时间

18@50g

-

ms±20%

承载能力

水平安装 -

-

kg

立式安装 - -
倒置安装 - -

静电容量

3.6 3.6

μF±20%

材质

钢、铝 钢、铝

 

重量

470(含线)

470(含线)

g±5%

工作温度范围

-20~65

-20~65

出线长

1.5

1.5

m±10mm

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。


安装方向 水平安装
立式安装
倒置安装
释义
    将PZT平台放置安装,运动面位于PZT

平台的上方,运动面与水平面平行

PS:参数表中承载能力默认方向

    将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行

PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载

    将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方

示意图


备注

当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
  • 顾客单位名称:
  • 顾客单位所在城市:
         
  • 您的联系方式:
  • 联系人:
  • 手机:
  • 电话:
  • 邮箱:
  • QQ:
  • (为方便我们对您的意见进行跟踪反馈,请务必填写真实有效的联系方式)
  • 反馈产品类型:
  • 型号:
  • 反馈问题:
    性能问题 外观问题 配件问题 软件问题
  • 留言内容:
  • 验证码: 看不清?


微信公众平台

扫一扫, 获取芯明天更多信息

地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层

电话:0451-86268790

压电 · 纳米 · 运动