- 产品介绍
- 应用
- 相关控制器
- 意见反馈
P77.S/K160-A大负载压电纳米定位台/移相器为大口径移相器，中心通孔孔径分别为160mm，特殊的结构设计，与光学平面检测仪相匹配。
产品特点
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
位移与电压曲线 
|
| 技术参数 | |||
|
型号 |
P77.S160-A |
单位 |
|
|
运动自由度 |
Z |
|
|
|
行程范围（0~120V） |
14 |
µm±10% |
|
|
Max.行程范围（0~150V） |
17.5 |
µm±10% |
|
|
分辨率 |
0.5/0.2 |
nm，typ. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
|
空载谐振频率 |
0.12 |
kHz±20% |
|
|
空载阶跃时间 |
3.5 |
ms±20% |
|
| 推/拉力 | 100/20 | N | |
|
承载能力 |
水平安装 |
10 |
Kg |
| 立式安装 | 5 | ||
| 倒置安装 | 2 | ||
|
静电容量 |
6.8 |
μF±20% |
|
|
工作温度范围 |
-20~80 |
°C |
|
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
220×220×39 |
mm |
|
|
通孔尺寸 |
Ø160 |
mm |
|
|
重量 |
2900 |
g±5% |
|
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
|
传感/电压连接器 |
LEMO |
|
|
|
控制 |
1或2路控制 |
|
|
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
 |
 |
 |
| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
||
|
|
应用案例
|
笼式结构 
|
低温真空 
|
纳米压印 
|
|
超分辨率显微成像 
|
红外超分辨率成像 
|
激光直写 
|
|
提高CCD分辨率 
|
干涉测量 
|
显微镜探针校准 
|
|
纳米光刻 
|
