P77.S310 P77.K310 压电式移相器当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77.S310 P77.K310 压电式移相器
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P77.S310压电移相器是专为光学检测移相应用而设计,行程范围17µm,负载能力可高达12kg,非常适于各种镜片、镜头的光学检测设备。可依据客户的设备应用要求量身定制。


产品特点


 行程范围:17μm

 通孔直径:Φ310mm

 承载能力:12kg

 可定制

 真空版本可选




产品应用


 显微成像

 表面检测

 移相/干涉/计量

 精密定位

 移相器

 光学捕获

 


    技术参数

型号


P77.S310
P77.K310


单位

运动自由度

Z

 

标称行程范围(0~120V)

13.5

μm±10%

行程范围(0~150V)

17

μm±10%

传感器类型

-

 

通孔尺寸

Φ310

mm

分辨率

0.5/20

nm

俯仰/偏航/滚动

-

μrad

推/拉力

100/20

N

空载谐振频率

1500

Hz±20%

空载阶跃时间

-

ms±20%

承载能力

正立12

kg

静电容量1

10.8

μF±20%

材质

钢、铝

 

重量

4200

g±5%

工作温度范围

-20~80

连接器

LEMO

 

出线长

1.5

m±10mm

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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    企业 高校 研究所
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