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P70系列压电扫描台具有两个版本，分别为二维 XY向运动、一维 Z 向运动。两个版本在四个角的位置都具有四个通孔，孔心距为 30mm，非常适于笼式结构的安装。XY运动版本额外具有四个沉孔，也适于螺纹安装固定。
P70 系列 Z 向运动版本，只需一通道控制。
产品特点
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 真空版本可选 |
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产品运动方向 
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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应用于笼式结构 
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应用于笼式结构 
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
P70.Z8S (直驱机构） |
P70.Z8K（直驱机构） |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1 路驱动，1路传感 |
1 路驱动 |
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标称行程范围 |
6.4
（@120V） |
6.4 （@120V） |
μm±10% |
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Max.行程范围 |
8（@150V） |
8（@150V） |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭环分辨率 |
0.3 |
0.1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.25 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.16 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
μrad |
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承载能力 |
水平安装 | 0.2 |
0.2 |
kg |
| 立式安装 | 0.03 | 0.03 | ||
| 倒置安装 | 0.05 | 0.05 | ||
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闭环响应时间 |
30 |
20 |
ms±20% |
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空载谐振频率 |
3.6 |
3.6 |
kHz±20% |
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加载谐振频率 |
1.5（200g） |
1.5（200g） |
kHz±20% |
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静电容量 |
1.6 |
1.6 |
μF±20% |
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重量 |
128.5 |
128.5 |
g±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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