P77.S/K106-A大负载压电纳米定位台/移相器是专为光学检测移相应用而设计的,它的中心通孔直径为106mm,水平安装、立式安装、倒置安装使用的承载能力分别可达10kg、5kg、5kg。P77.S/K106-A系列是采用压电陶瓷直驱式结构,保证了出力性能,同时内部优化的机械结构设计,对压电陶瓷也起到了完美的保护作用,确保了使用寿命。
产品特点
|
|
|
|
|
|
|
|
技术参数 | |||
型号 |
P77.S106-A |
单位 |
|
运动自由度 |
Z |
|
|
行程范围(0~120V) |
14 |
µm±10% |
|
Max.行程范围(0~150V) |
17.5 |
µm±10% |
|
分辨率 |
0.5/0.2 |
nm,typ. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
空载谐振频率 |
0.15 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
3.5 |
ms±20% |
|
推/拉力 | 100/50 | N | |
承载能力 |
水平安装 |
10 |
Kg |
立式安装 | 5 | ||
倒置安装 | 5 | ||
静电容量 |
6.8 |
μF±20% |
|
工作温度范围 |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸(长×宽×高) |
160×160×35 |
mm |
|
通孔尺寸 |
Ø106 |
mm |
|
重量 |
1900 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器 |
LEMO |
|
|
控制 |
1~3路控制 |
|
安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
释义 |
将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT
平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 |
![]() |
![]() |
![]() |
备注 |
当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 |
|
|
应用案例
笼式结构 ![]() |
低温真空 ![]() |
纳米压印 ![]() |
超分辨率显微成像 ![]() |
红外超分辨率成像 ![]() |
激光直写 ![]() |
提高CCD分辨率 ![]() |
干涉测量 ![]() |
显微镜探针校准 ![]() |
纳米光刻 ![]() |