P77.K106A压电式移相器是专为光学检测移相应用而设计的,它的中心通孔直径为106mm,正立、侧卧、倒置使用的承载能力分别可达10kg、5kg、5kg。P77.K106A系列是采用压电陶瓷直驱式结构,保证了出力性能,同时内部优化的机械结构设计,对压电陶瓷也起到了完美的保护作用,确保了使用寿命。
产品特点
行程可达17.5μm |
承载可达10kg |
尺寸160×160×35mm |
通孔直径Ø106mm |
可正立/侧卧/倒置使用 |
真空版本可选 |
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技术参数 | ||
型号 |
P77.S106A |
单位 |
运动自由度 |
Z |
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行程范围(0~120V) |
14 |
µm±10% |
行程范围(0~150V) |
17.5 |
µm±10% |
分辨率 |
0.5/0.2 |
nm,typ. |
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
空载谐振频率 |
0.15 |
kHz±20% |
空载阶跃时间 |
3.5 |
ms±20% |
承载能力 |
正立10 /卧式5 /倒置5 |
Kg |
静电容量 |
7.2 |
μF±20% |
工作温度范围 |
-20~80 |
°C |
材质 |
钢、铝 |
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外形尺寸(长×宽×高) |
160×160×35 |
mm |
通孔尺寸 |
Ø106 |
mm |
重量 |
1900 |
g±5% |
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
传感/电压连接器 |
LEMO |
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使用方式 |
正立/倒置/卧式 |
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控制 |
1~3路控制 |
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |