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P77.K106A压电式移相器是专为光学检测移相应用而设计的,它的中心通孔直径为106mm,正立、侧卧、倒置使用的承载能力分别可达10kg、5kg、5kg。P77.K106A系列是采用压电陶瓷直驱式结构,保证了出力性能,同时内部优化的机械结构设计,对压电陶瓷也起到了完美的保护作用,确保了使用寿命。


产品特点


 行程可达17.5μm

 承载可达10kg 

 尺寸160×160×35mm

 通孔直径Ø106mm

 可正立/侧卧/倒置使用

 真空版本可选 

 

 


位移与电压曲线

    技术参数

型号

P77.S106A
P77.K106A

单位

  运动自由度

Z

  

  行程范围(0~120V)

14

µm±10%

  行程范围(0~150V)

17.5

µm±10%

  分辨率

0.5/0.2

nm,typ.

  俯仰/偏航/滚动

<10

µrad

  空载谐振频率

0.15

kHz±20%

  空载阶跃时间

3.5

ms±20%

  承载能力

正立10 /卧式5 /倒置5

Kg

  静电容量

7.2

μF±20%

  工作温度范围

-20~80

°C

  材质

钢、铝

  

  外形尺寸(长×宽×高) 

160×160×35

mm

  通孔尺寸

Ø106

mm

  重量

2000

g±5%

  出线长

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器

LEMO

 

  使用方式

正立/倒置/卧式

 

  控制

1~3路控制

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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使用说明书/Manual

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应用案例


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纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

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干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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1路输出
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