P77.S106-A P77.K106-A 大负载压电纳米定位台/移相器 一维Z向 17.5μm 中孔Ø106mm当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77.S106-A P77.K106-A 大负载压电纳米定位台/移相器 一维Z向 17.5μm 中孔Ø106mm
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P77.S/K106-A大负载压电纳米定位台/移相器是专为光学检测移相应用而设计的,它的中心通孔直径为106mm,水平安装、立式安装、倒置安装使用的承载能力分别可达10kg、5kg、5kg。P77.S/K106-A系列是采用压电陶瓷直驱式结构,保证了出力性能,同时内部优化的机械结构设计,对压电陶瓷也起到了完美的保护作用,确保了使用寿命。


产品特点


 行程可达17.5μm

 承载可达10kg 

 尺寸160×160×35mm

 通孔直径Ø106mm

 可选水平/立式/倒置使用

 真空版本可选 

 

 


位移与电压曲线

    技术参数

型号

P77.S106-A
P77.K106-A

单位

  运动自由度

Z

  

  行程范围(0~120V)

14

µm±10%

  Max.行程范围(0~150V)

17.5

µm±10%

  分辨率

0.5/0.2

nm,typ.

  俯仰/偏航/滚动

<10

µrad

  空载谐振频率

0.15

kHz±20%

  空载阶跃时间

3.5

ms±20%

  推/拉力 100/50 N

  承载能力

水平安装

10

Kg

立式安装 5
倒置安装 5

  静电容量

6.8

μF±20%

  工作温度范围

-20~80

°C

  材质

钢、铝

  

  外形尺寸(长×宽×高) 

160×160×35

mm

  通孔尺寸

Ø106

mm

  重量

1900

g±5%

  出线长

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器

LEMO

 

  控制

1~3路控制


安装方向 水平安装
立式安装
倒置安装
释义
    将PZT平台放置安装,运动面位于PZT

平台的上方,运动面与水平面平行

PS:参数表中承载能力默认方向

    将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行

PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载

    将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方

示意图


备注

当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


推荐控制器

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1路输出
上位机通信、模拟、旋钮
开环/闭环
平均功率35W/7W


压电控制器

3路输出
模拟、上位机通信
开环/闭环
平均电流70mA


超小体积压电控制器

1路输出
模拟、上位机通信
开环/闭环
平均功率10W


工业式压电控制器

1路输出
模拟输入
开环/闭环
平均功率50W


压电控制器

3路输出
模拟控制
闭环
平均电流25mA


工业式压电控制器

1路输出
模拟、旋钮、I/O控制
开环/闭环
平均功率6W

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    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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