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P77.S210 压电式移相器的孔径为210mm，非常适于大口径光学平面检测。
产品特点
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位移与电压曲线 
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| 技术参数 | ||
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型号 |
P77.S210 |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
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行程范围（0~120V） |
14 |
µm±10% |
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行程范围（0~150V） |
17.5 |
µm±10% |
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分辨率 |
0.5/0.2 |
nm，typ. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
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空载谐振频率 |
0.1 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
2.5 |
ms±20% |
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承载能力 |
正立10 /卧式5 /倒置5 |
Kg |
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静电容量 |
5.4 |
μF±20% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
265×265×35 |
mm |
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通孔尺寸 |
Ø210 |
mm |
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重量 |
2890 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器 |
LEMO |
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使用方式 |
正立/倒置/卧式 |
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控制 |
1或3路控制 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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