P77.S210 P77.K210压电移相器 一维Z向 17.5μm 中孔Ø210mm当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77.S210 P77.K210压电移相器 一维Z向 17.5μm 中孔Ø210mm
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P77.S210 压电式移相器的孔径为210mm,非常适于大口径光学平面检测。

产品特点


 行程可达17.5μm

 承载可达10kg

 尺寸265×265×35mm 

 通孔直径Ø210mm

 真空版本可选




位移与电压曲线

    技术参数

型号

P77.S210
P77.K210

单位

  运动自由度

Z

  

  行程范围(0~120V)

14

µm±10%

  行程范围(0~150V)

17.5

µm±10%

  分辨率

0.5/0.2

nm,typ.

  俯仰/偏航/滚动

<10

µrad

  空载谐振频率

0.1

kHz±20%

  空载阶跃时间

2.5

ms±20%

  承载能力

正立10 /卧式5 /倒置5

Kg

  静电容量

5.4

μF±20%

  工作温度范围

-20~80

°C

  材质

钢、铝

  

  外形尺寸(长×宽×高)

265×265×35

mm

  通孔尺寸

Ø210

mm

  重量

3000

g±5%

  出线长

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器

LEMO

 

  使用方式

正立/倒置/卧式

 

  控制

1或3路控制

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看

    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

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激光直写

提高CCD分辨率

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开环/闭环
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超小体积压电控制器

1路输出
模拟、上位机通信
开环/闭环
平均功率10W


工业式压电控制器

1路输出
模拟输入
开环/闭环
平均功率50W


压电控制器

3路输出
模拟控制
闭环
平均电流25mA


工业式压电控制器

1路输出
模拟、旋钮、I/O控制
开环/闭环
平均功率6W

  • 客户类别:
    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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