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适用于内螺纹柱形压电陶瓷促动器。P77.K36系列压电式移相器是专为孔径36mm光学检测设备而设计的倒置使用的移相装置，行程可达17.5μm，正立、卧式、倒置承载能力分别可达7kg、1kg、5kg。P77.K36系列压电移相器体积相对较小，仅80×80×35mm，中心孔径36mm。
产品特点
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位移与电压曲线 
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| 技术参数 | ||||||
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型号 |
P77.S36 |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
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行程范围（0~120V） |
14 |
µm±10% |
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行程范围（0~150V） |
17.5 |
µm±10% |
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分辨率 |
0.5/0.2 |
nm，typ. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
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空载谐振频率 |
0.3 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
2 |
ms±20% |
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承载能力 |
正立7/卧式1/倒置5 |
Kg |
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静电容量 |
3.6 |
μF±20% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
80×80×35 |
mm |
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通孔尺寸 |
Ø36 |
mm |
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重量 |
565 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器 |
LEMO |
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使用方式 |
正立/倒置/卧式 |
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控制 |
1~3路控制 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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