P77.S36 P77.K36压电移相器 一维Z向 17.5μm 中孔Ø36mm当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77.S36 P77.K36压电移相器 一维Z向 17.5μm 中孔Ø36mm
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适用于内螺纹柱形压电陶瓷促动器。P77.K36系列压电式移相器是专为孔径36mm光学检测设备而设计的倒置使用的移相装置,行程可达17.5μm,正立、卧式、倒置承载能力分别可达7kg、1kg、5kg。P77.K36系列压电移相器体积相对较小,仅80×80×35mm,中心孔径36mm。


产品特点


 行程可达17.5μm

 承载可达7kg

 通孔直径Ø36mm

 可正立/侧卧/倒置使用

 真空版本可选





位移与电压曲线

    技术参数

型号

P77.S36
P77.K36

单位

  运动自由度

Z

  

  行程范围(0~120V)

14

µm±10%

  行程范围(0~150V)

17.5

µm±10%

  分辨率

0.5/0.2

nm,typ.

  俯仰/偏航/滚动

<10

µrad

  空载谐振频率

0.3

kHz±20%

  空载阶跃时间

2

ms±20%

  承载能力

正立7/卧式1/倒置5

Kg

  静电容量

3.6

μF±20%

  工作温度范围

-20~80

°C

  材质

钢、铝

  

  外形尺寸(长×宽×高) 

80×80×35

mm

  通孔尺寸

Ø36

mm

  重量

610

g±5%

  出线长

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器

LEMO

 

  使用方式

正立/倒置/卧式

 

  控制

1~3路控制

     尺寸图 (点击图片可放大查看)
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     尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

     三维图演示

应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

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显微镜探针校准

纳米光刻


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