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      P77.100S/K85大负载压电纳米定位台/移相器是专为光学检测移相应用而设计,行程范围可达100µm,负载能力可高达3kg,非常适于各种镜片、镜头的光学检测设备。可依据客户的设备应用要求量身定制。



产品特点


 行程范围:100μm

 通孔直径:Φ85mm

 承载能力:3kg

 可定制

 真空版本可选




产品应用


 显微成像

 表面检测

 移相/干涉/计量

 精密定位

 移相器

 光学捕获

 


    技术参数

型号

P77.100S85
P77.100K85

单位

运动自由度

Z

Z

 

标称行程范围(0~120V)

80

80

μm±10%

Max.行程范围(0~150V)

100

100

μm±10%

传感器类型

SGS

-

 

通孔尺寸

Φ85

Φ85

mm

闭/开环分辨率

5

1.5

nm

俯仰/偏航/滚动

<5

<5

μrad

推/拉力

-

-

N

空载谐振频率

190

190

Hz±20%

空载阶跃时间

20@10μm,1.2kg

5

ms±20%

承载能力

水平安装 3

3

kg

立式安装 1 1
倒置安装 1 1

静电容量

14.4 14.4

μF±20%

材质

铝、铜 铝、铜

 

重量

2000

2000

g±5%

工作温度范围

-20~80

-20~80

出线长

1.5

1.5

m±10mm

    注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。


安装方向 水平安装
立式安装
倒置安装
释义
    将PZT平台放置安装,运动面位于PZT

平台的上方,运动面与水平面平行

PS:参数表中承载能力默认方向

    将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行

PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载

    将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方

示意图


备注

当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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