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XD781 系列压电扫描台
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XD781 系列压电扫描台为 Z 轴运动压电纳米定位台,它具有非常大的中心通孔,方框形设计,边缘窄,非常易于集成,可用于 Z 向样品显微成像等应用。


产品特点


 Z 向运动 

 具有大型中心通孔

 纳米级精度

 占用空间小,易于集成


产品应用


 显微聚焦 / 成像

 Z 向纳米定位

 表面检测

 光学

 微纳加工




    技术参数

型号

XD781.100S

XD781.100K

单位

运动方向

Z

Z

 

标称行程范围(0~120V)

80

80

 μm±10%

行程范围(0~150V)

100

100

μm±10%

传感器类型

SGS

-


闭 / 开环分辨率

3

1

nm

闭环线性度

0.2

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

 %F.S.

空载谐振频率

300

300

Hz±20%

加载 100g 谐振频率

200

200

Hz±20%

承载能力

1

1

kg

静电容量

5.4

5.4

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝


重量

875
875

g±5%

注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet

使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻

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