XD781 系列压电扫描台为 Z 轴运动压电纳米定位台,它具有非常大的中心通孔,方框形设计,边缘窄,非常易于集成,可用于 Z 向样品显微成像等应用。
产品特点
Z 向运动 |
具有大型中心通孔 |
纳米级精度 |
占用空间小,易于集成 |
产品应用
显微聚焦 / 成像 |
Z 向纳米定位 |
表面检测 |
光学 |
微纳加工 |
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技术参数 | |||
型号 |
XD781.100S |
XD781.100K |
单位 |
运动方向 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
μm±10% |
标称行程范围(0~120V) |
80 |
80 |
μm±10% |
行程范围(0~150V) |
100 |
100 |
μm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
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闭 / 开环分辨率 |
3 |
1 |
nm |
闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
300 |
300 |
Hz±20% |
加载 100g 谐振频率 |
200 |
200 |
Hz±20% |
承载能力 |
1 |
1 |
kg |
静电容量 |
5.4 |
5.4 |
μF±20% |
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
875 |
875 |
g±5% |
注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |