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P77 系列压电移相器是专为光学检测移相应用而设计，行程范围可达 32µm，负载能力可高达 15kg，非常适于各种镜片、镜头的光学检测设备。可依据客户的设备应用要求量身定制。
产品特点
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 真空版本可选 |
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产品运动示意图 P77.30K140压电移相器是专为卧式激光干涉仪而设计，带载大口径镜架等，亚纳米级步进移相，为光学检测设备提供高精密的核心组件，显著提高光学检测的精度。 |
产品运动示意图 
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位移与电压曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P77.30S140
P77.30K140
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单位 |
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运动自由度 |
Z |
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标称行程范围（0~120V） |
12.8/25.6 |
μm±10% |
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行程范围（0~150V） |
16/32 |
μm±10% |
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传感器类型 |
- |
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通孔尺寸 |
Φ140 |
mm |
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分辨率 |
0.5/0.2 |
nm |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
80/15 |
N |
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空载谐振频率 |
200 |
Hz±20% |
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闭环空载工作频率 |
10%行程 |
- |
Hz±20% |
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100%行程 |
- |
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承载能力 |
卧式5 |
kg |
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静电容量 |
14.4/28.8 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
4200 |
g±5% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
℃ |
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控制 |
1或2路控制 |
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连接器 |
LEMO |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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