P77 系列大负载压电纳米定位台/移相器是专为光学检测移相应用而设计,行程范围可达 32µm,负载能力可高达 15kg,非常适于各种镜片、镜头的光学检测设备。可依据客户的设备应用要求量身定制。
产品特点
|
|
|
|
![]() |
|
|
|
产品运动示意图 P77.30K140压电移相器是专为卧式激光干涉仪而设计,带载大口径镜架等,亚纳米级步进移相,为光学检测设备提供高精密的核心组件,显著提高光学检测的精度。 |
产品运动示意图 ![]() |
![]() |
产品应用
|
|
|
|
|
|
|
|
技术参数 | |||
型号 |
P77.30S140
P77.30K140
|
单位 |
|
运动自由度 |
Z |
|
|
标称行程范围(0~120V) |
12.8/25.6 |
μm±10% |
|
Max.行程范围(0~150V) |
16/32 |
μm±10% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Φ140 |
mm |
|
分辨率 |
0.5/0.2 |
nm |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
μrad |
|
推/拉力 |
80/- |
N |
|
空载谐振频率 |
200 |
Hz±20% |
|
承载能力 |
水平安装 |
- |
kg |
立式安装 | 5 | ||
倒置安装 | - | ||
静电容量 |
26 |
μF±20% |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
重量 |
4200 |
g±5% |
|
工作温度范围 |
-20~80 |
℃ |
|
控制 |
1或2路控制 |
|
|
连接器 |
LEMO |
|
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
释义 |
将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT
平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 |
![]() |
![]() |
![]() |
备注 |
当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 |
|
|
应用案例
笼式结构 ![]() |
低温真空 ![]() |
纳米压印 ![]() |
超分辨率显微成像 ![]() |
红外超分辨率成像 ![]() |
激光直写 ![]() |
提高CCD分辨率 ![]() |
干涉测量 ![]() |
显微镜探针校准 ![]() |
纳米光刻 ![]() |