- 产品介绍
- 意见反馈
XD781.50系列大负载压电纳米定位台，可在Z向实现60μm位移，承载可达400g。其中心通孔尺寸为φ28mm，非常易于集成，可用于Z向样品显微成像等应用。
产品特点
|
|
|
|
|
|
运动面示意图 
|
产品应用
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 技术参数 | ||||
|
型号 |
S-闭环 |
XD781.50S |
XD781.50K |
单位 |
|
运动自由度 |
Z |
Z |
|
|
|
驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
|
|
|
标称行程范围（0 ~120 V） |
48 |
48 |
µm±10% |
|
|
Max.行程范围（0~150 V） |
60 |
60 |
µm±10% |
|
|
传感器类型 |
SGS |
- |
|
|
|
闭/开环分辨率 |
3 |
1 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.015 |
- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.012 |
- |
%F.S. |
|
|
空载谐振频率 |
220 |
220 |
Hz±20% |
|
|
带载谐振频率@1000g |
100 | 100 |
Hz±20% |
|
|
闭/开环空载阶跃时间 |
40@400g |
15 |
ms±20% |
|
|
静电容量 |
1.8 | 1.8 |
μF±20% |
|
|
工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
|
|
承载能力 |
水平安装 |
400 |
400 |
g |
| 立式安装 | 150 | 150 | ||
| 倒置安装 | 150 | 150 | ||
|
材料 |
钢 |
钢 |
|
|
|
重量 |
355 |
355 |
g±5% |
|
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
 |
 |
 |
| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
||
