P77.S154 P77.K154压电移相器当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>P77.S154 P77.K154压电移相器
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产品特点


 行程可达22μm

 承载可达25kg

 通孔直径Ø154mm

 可正立/侧卧/倒置使用

 真空版本可选





位移与电压曲线

    技术参数

型号

P77.S/K154

单位

运动自由度

Z

 

标称行程范围(0~120V)

16

μm±10%

行程范围(0~150V)

20

μm±10%

传感器类型

SGS/-

 

通孔尺寸

Φ155

mm

分辨率

0.5/0.2

nm

俯仰/偏航/滚动

<10

μrad

推/拉力

50/30

N

空载谐振频率

1300

Hz±20%

空载阶跃时间

3.5/2

ms±20%

承载能力

正立

25

kg

卧式

20

倒置

20

静电容量

14.4

μF±20%

材质

钢、铝

 

重量

6000

g±5%

工作温度范围

-20~80

连接器

LEMO

 

出线长

1.5

m±10mm

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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

     三维图演示

应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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