产品特点
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技术参数 | |||
型号 |
P77.S/K155 |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
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标称行程范围(0~120V) |
13.5 |
μm±10% |
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Max.行程范围(0~150V) |
17 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Φ155 |
mm |
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分辨率 |
0.5/0.2 |
nm |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
μrad |
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推/拉力 |
50/200 |
N |
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空载谐振频率 |
1300 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
3.5/2 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
25 |
kg |
立式安装 |
20 |
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倒置安装 |
20 |
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静电容量 |
13.6 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
3020 |
g±5% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
℃ |
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连接器 |
LEMO |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
释义 |
将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT
平台的上方,运动面与水平面平行。 PS:参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行 PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方 |
示意图 |
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![]() |
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备注 |
当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口 |
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应用案例
笼式结构 ![]() |
低温真空 ![]() |
纳米压印 ![]() |
超分辨率显微成像 ![]() |
红外超分辨率成像 ![]() |
激光直写 ![]() |
提高CCD分辨率 ![]() |
干涉测量 ![]() |
显微镜探针校准 ![]() |
纳米光刻 ![]() |