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大负载压电纳米定位台P78.Z100-D是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的压电扫描台，它的外形结构易于集成于显微仪器设备中。压电扫描台P78.Z100-D1的Z向运动范围可达100µm。
大负载压电纳米定位台P78.Z100-D对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。它的高度仅25mm，中心具有120×70mm的通孔，可提供亚纳米级分辨率的高精度运动。
压电扫描台P78.Z100-D可选配桥式配置的闭环传感器，可消除温度漂移，保证了纳米范围的定位稳定性。
大负载压电纳米定位台P78.Z100-D的结构经过FEA建模仿真分析设计，无间隙、无摩擦，具有极高的运动精度。同时，通过FEA优化了直线度与平面度，为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。因其并联运动学的设计，将扫描台的质量尽可能缩小，使结构更紧凑、响应速度更快。
大负载压电纳米定位台P78.Z100-D匹配芯明天E53.D压电控制器使用，整个压电显微聚焦的体积非常小巧。可选择闭环控制及上位机通信功能。
产品特点
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产品实物图 
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阶跃时间图 
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位移与电压曲线 
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谐振频率与负载曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
S-闭环 |
P78.Z100S-D |
P78.Z100K-D |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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行程范围（0 ~+120 V） |
80 |
80 |
µm±10% |
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Max.行程范围（-20~+150 V） |
100 |
100 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
120×70 |
120×70 |
mm |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<25 |
<25 |
μrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
120/15 |
120/15 |
N |
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运动方向刚度 |
1.5 |
1.5 |
N/um±20% |
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空载谐振频率 |
400 |
400 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
30 |
5 |
ms |
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承载能力 |
水平安装 |
1 |
1 |
Kg |
| 立式安装 | 0.03 | 0.03 | ||
| 倒置安装 | 0.3 | 0.3 | ||
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驱动性能 |
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静电容量 |
5.4 |
5.4 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长宽高） |
154×136×25 |
154×136×25 |
mm |
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重量 |
560 |
560 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器 |
LEMO |
LEMO |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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