压电扫描台P78.Z100S/K当前位置:产品首页 >> 一维中空式压电扫描台>>压电扫描台P78.Z100S/K
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压电扫描台P78.Z100是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的压电扫描台,它的外形结构易于集成于显微仪器设备中。压电扫描台P78.Z100-D1的Z向运动范围可达100µm。


压电扫描台P78.Z100对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。它的高度仅25mm,中心具有120×70mm的通孔,可提供亚纳米级分辨率的高精度运动。


压电扫描台P78.Z100可选配桥式配置的闭环传感器,可消除温度漂移,保证了纳米范围的定位稳定性。


压电扫描台P78.Z100的结构经过FEA建模仿真分析设计,无间隙、无摩擦,具有极高的运动精度。同时,通过FEA优化了直线度与平面度,为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。因其并联运动学的设计,将扫描台的质量尽可能缩小,使结构更紧凑、响应速度更快。


压电扫描台P78.Z100匹配芯明天E53.D压电控制器使用,整个压电显微聚焦的体积非常小巧。可选择闭环控制及上位机通信功能。


产品特点


 一维 Z 向运动

 行程范围 100µm 

 分辨率达 1nm

 通孔尺寸为 120×70mm

 真空版本可选


 


产品实物图

阶跃时间图

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线


产品应用


 医疗显微成像

 生物技术

 超分辨率显微镜

 光学圆盘显微镜

 共聚焦显微镜

 3D成像

 筛选

 干涉测量

 测量技术

 自动聚焦系统

 半导体测试


    技术参数

型号

S-闭环
K-开环

P78.Z100S

P78.Z100K

单位

运动自由度

Z

Z

 

运动与定位

行程范围(0 ~+120 V)

80

80

µm±10%

行程范围(-20~+150 V)

100

100

µm±10%

传感器类型

SGS

-

 

通孔尺寸

120×70

120×70

mm

分辨率

3

1

nm

闭环线性度

0.3

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<25

<25

μrad

机械性能

运动方向推/拉力

120/15

120/15

N

运动方向刚度

1.5

1.5

N/um±20%

空载谐振频率

400

400

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

30

5

ms

承载能力

1

1

Kg, max

驱动性能

静电容量

5.4

5.4

μF/轴±20%

其他

工作温度范围

-20~80

-20~80

材质

钢、铝

钢、铝

 

外形尺寸(长宽高)

154×136×25

154×136×25

mm

重量

560

560

g±5%

出线长

1.5

1.5

m±10mm

传感/电压连接器

LEMO

LEMO

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

     三维图演示

应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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