P12A系列压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台,台体中心方形通孔,内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优 化结构,具有高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点,平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈,实现行程0.04%的重复定位精度。
P12A.XYZ三维XYZ轴压电扫描台中心具有通孔,扫描范围可达100μm,闭环扫描台精度高,直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域。
产品特点
一维Z向运动 |
行程100μm/轴 |
承载0.7kg |
尺寸为45×45mm |
闭环重复定位精度高 |
开/闭环可选 |
真空版本可选 |
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产品运动示意图 |
台体采用放大机构设计,运动行程范围大 |
带载阶跃时间 |
闭环传感定位精度高 P12A系列压电扫描台配置高分辨率传感器,对位置实时检测并反馈到压电控制器,控制器通过 PID 算法调整电压修正位移,从而实现高精度定位。
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平稳的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳。 |
产品应用
图像处理与稳定 |
精密定位 |
光学捕获 |
干涉/计量 |
半导体测试 |
表面检测 |
光学计量 |
光学显微成像 |
SPM扫描显微镜 |
掩模/晶圆定位 |
生物技术 |
表面结构分析 |
P12A全系列产品
P12A系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。
技术参数 | ||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12A.Z100S |
P12A.Z100K |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
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0~120V行程范围 |
80 |
80 |
µm±10% |
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0~150V行程范围 |
100 |
100 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
45×45 |
45×45 |
mm |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm,typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.04 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
N |
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运动方向刚度 |
0.3 |
0.3 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.20 |
0.20 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
10 |
0.8 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.7 |
0.7 |
Kg |
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驱动性能 |
||||
静电容量 |
3.6 |
3.6 |
μF±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸(长×宽×高) |
85×85×28 |
85×85×28 |
mm |
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重量 |
240 |
240 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |