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P12A系列压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台，台体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化结构，具有高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现行程0.04%的重复定位精度。
P12A.XYZ三维XYZ轴压电扫描台中心具有通孔，扫描范围可达100μm，闭环扫描台精度高，直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域。
产品特点
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产品运动示意图 
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台体采用放大机构设计，运动行程范围大 
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带载阶跃时间 
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闭环传感定位精度高 P12A 系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，控制器通过 PID 算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。 
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平稳的扫描圆形驱动 精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳。 
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谐振频率与负载曲线 
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谐振频率与负载曲线 
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位移与电压曲线 
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产品应用
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P12A全系列产品
P12A系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
P12A.XY100S |
P12A.XY100K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X、Y |
X、Y |
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驱动控制 |
2路驱动，2路传感 |
2路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
80 |
µm/轴±10% |
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行程范围（0~150V） |
100 |
100 |
µm/轴±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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通孔尺寸 |
45×45 |
45×45 |
mm |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<15 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
25/8 |
25/8 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.25/Y0.3 |
X0.25/Y0.3 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.17/Y0.2 |
X0.17/Y0.2 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
15 |
0.8 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.6 |
0.6 |
Kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
3.6 |
3.6 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
85×85×28 |
85×85×28 |
mm |
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重量 |
290 |
290 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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笼式结构 
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低温真空 
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纳米压印 
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超分辨率显微成像 
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红外超分辨率成像 
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激光直写 
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提高CCD分辨率 
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干涉测量 
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显微镜探针校准 
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纳米光刻 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
