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P78A.Z200系列大负载压电纳米定位台是一维Z向运动的纳米定位台，它的行程可达200μm，中心具有φ25mm通孔，适用于透射光应用。
产品特点
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Z向运动，行程达200μm产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
P78A.Z200S |
P78A.Z200K |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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传感器 |
SGS |
- |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
160 |
160 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
200 |
200 |
μm±10% |
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闭/开环分辨率 |
10 |
3 |
nm |
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线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.15 |
- |
%F.S. |
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承载能力 |
水平安装 | 0.2 |
0.2 |
kg |
| 立式安装 | 0.02 | 0.02 | ||
| 倒置安装 | 2 | 2 | ||
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重量 |
260 |
260 |
g±5% |
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静电容量 |
28.8 |
28.8 |
μF±20% |
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材质 |
铝合金、不锈钢 |
铝合金、不锈钢 |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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