压电纳米定位台 -芯明天

压电纳米定位

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压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现 X 轴、Z 轴、XY 轴、XZ 轴、XYZ 轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。运动范围最大可达 300μm，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠性，压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。

压电扫描台有无中空式和中空式，应用非常广泛，如扫描探针显微（例如AFM原子力显微镜）、纳米定位、计量、生物学研究、微电子、微操作、精密控制等。中空式主要应用于透光精密光学器件的定位与调整，可与显微镜和分析设备结合使用用于定位与测量。

压电纳米定位台（无中空式）

P11 1至3维运动 110μm/轴	详情
P13 2至3维运动 40μm/轴	详情
P63 1至3维运动 8μm/轴	详情
P66 1至3维运动 30μm/轴	详情
P66.X60 1维运动 60μm	详情
N60 一维X运动 34μm	详情
XP-611 一维X或Z向运动 100μm	详情
XP-63X 一维X向运动 17~68μm	详情
W08 压电平台（定制版）	详情
XD601 压电纳米定位台	详情
XD602 三维压电纳米定位台	详情
Z03 压电纳米定位台	详情
IT.Z1000 一维Z向运动 1000μm	详情

压电纳米定位台（中空式）

P12 1~3维 φ25/35mm通孔 100~300μm	详情
P15 三维XYZ 66×66mm通孔 300μm/轴	详情
P16 二维XY φ20mm通孔 50/100μm	详情
P17二维XY运动 60×60mm通孔 187.5μm/轴	详情
P18 1至3维 φ35mm通孔 375μm	详情
P77 Z向运动 φ106mm通孔移相 17.5μm	详情
P77-D1 Z向运动 φ106mm通孔移相 17.5μm	详情
P77-D2 Z向运动 φ36mm通孔移相 17.5μm	详情
P77-D3 Z向运动 φ160mm通孔移相 17.5μm	详情
P77-D4 Z向运动 φ160mm通孔移相 17.5μm	详情
P77-D5 Z向运动 φ210mm通孔移相 17.5μm	详情
P77-D6 Z向运动 φ65mm通孔移相 20μm	详情
P77-D7 Z向运动 φ65mm通孔移相 50μm	详情
P77-D9压电式移相器	详情
P78 Z向 64×64mm通孔 200或300μm	详情
P78.Z100 Z向 128.5×86.5mm通孔 100μm	详情
P79 Z向 114×86mm通孔 100或187.5μm	详情
N12 1至3维 45×45mm通孔 110μm/轴	详情
N62 二维XY φ26mm通孔 22μm/轴	详情
N65 二维XY φ25mm通孔 17μm/轴	详情
XD-102 Z向 φ12mm通孔 8μm	详情
XD-102 二维XY φ10mm 通孔17μm	详情
XP-780.X 1维压电扫描台 220μm	详情
XD103 系列低温强磁版本压电纳米定位台	详情