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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P77-D9压电纳米定位台/移相器
P77系列压电移相器是专为光学检测移相应用而设计，行程范围可达 50µm，负载能力可高达10kg。P77.D9为P77系列中的一款，它的中心通孔为φ140mm，移相行程可达32μm，分辨率达0.5nm，适用于各种光学镜片、镜头等测量的卧式激光干涉仪，卧式承载达5kg。
特点
• 行程范围：0~16/32μm • 通孔直径：Φ140mm • 卧式承载：5kg • 可定制
应用
• 显微成像 • 表面检测 • 移相/干涉/计量 • 精密定位 • 移相器 • 光学捕获
应用示例
P77.D9压电移相器是专为卧式激光干涉仪而设计，带载大口径镜架等，亚纳米级步进移相，为光学检测设备提供高精密的核心组件，显著提高光学检测的精度。
技术参数
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型号 |
P77-D9 |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
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标称行程范围（0~120V） |
12.8/25.6 |
μm±20% |
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行程范围（0~150V） |
16/32 |
μm±20% |
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传感器类型 |
- |
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通孔尺寸 |
Φ140 |
mm |
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长或外径 |
210 |
mm |
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宽 |
210 |
mm |
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|
高 |
56 |
mm |
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分辨率 |
0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
- |
N |
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运动方向刚度 |
- |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
200 |
Hz±20% |
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空载阶跃时间 |
- |
ms±20% |
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闭环空载工作频率 |
10%行程 |
- |
Hz±20% |
|
100%行程 |
- |
||
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承载能力 |
卧式5 |
kg |
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静电容量 |
14.4/28.8 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
4200 |
g±5% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
℃ |
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控制 |
1或2路控制 |
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连接器 |
LEMO |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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