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应用举例

光电吊舱稳像
光电吊舱稳像

XY二维压电扫描台提供快速图像稳定

干涉测量
激光干涉测量

压电式移相器提供纳米级精度步进移相

显微成像
显微成像

压电物镜定位器提供超高分辨率物镜步进

激光晶圆切割
激光晶圆切割

压电物镜定位器提供纳米级的焦点定位精度

光路调节
光路调节

压电偏转镜提供纳弧度、超快光束对准调节

激光合束
激光合束

压电偏转镜/台提供超快高精度光束偏转

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