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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P18系列压电纳米定位台
P18 系列压电扫描台为 1-3 维直线扫描台。台体采用 机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现最大 375μm 的高速扫描，通光孔径为 Ø35mm，多种位移行程 及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。
特点
• 位移可达 375μm • 最大承载 3.5kg • 通孔直径：Ø35mm • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 • 1 至 3 维运动可选
台体采用放大机构设计，运动行程范围大
产品运动示意图
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，P18.XYZ200可以实现250μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18.XYZ200采用独特的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，承载达1kg，XYZ轴空载谐振频率分别可达300Hz、200Hz、120Hz，配套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用。
应用实例-纳米光刻
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。
频率负载曲线
平稳和准确的扫描圆形驱动
精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。
应用
• 图像处理与稳定 • 精密定位 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测量 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析
技术参数(P18.XYZ，三维XYZ运动)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P18.XYZ200S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X，Y，Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
200 |
µm±20% |
|
行程范围 |
250 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø35 |
mm |
|
分辨率 |
8/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.1/Y0.1/Z0.1 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.3/Y0.2/Z0.12 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
50/5 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
30/>30 |
Hz±20% |
100%行程 |
5/>5 |
||
承载能力 |
1 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
11 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
100×100×57.5 |
mm |
|
重量 |
600 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(P18.XY200，二维XY，250μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P18.XY200S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X，Y |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
200 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
250 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø35 |
mm |
|
分辨率 |
8/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
60/20 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.3/Y0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.2/Y0.45 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
50/5 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15/>15 |
||
承载能力 |
1.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
11 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
100×100×29.5 |
mm |
|
重量 |
360 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(P18.XY300，二维XY，375μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P18.XY300S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X，Y |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
300或±150 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
375或±187.5 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø35 |
mm |
|
分辨率 |
10/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
150/150 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.5/Y0.5 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.25/Y0.5 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
50/10 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
40/>40 |
Hz±20% |
100%行程 |
10/>10 |
||
承载能力 |
3 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
21 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
100×100×29.5 |
mm |
|
重量 |
380 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(P18.X200，一维X，250μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P18.X200S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
200 |
µm±20% |
|
行程范围 |
250 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø35 |
mm |
|
分辨率 |
8/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
60/20 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.5 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
30/5 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
30/>30 |
||
承载能力 |
2 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
11 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
100×100×15 |
mm |
|
重量 |
200 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(P18.X300，一维X，375μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P18.X300S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围（0~120V） |
300或±150 |
µm±20% |
|
行程范围（0~150V） |
375或±187.5 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø35 |
mm |
|
分辨率 |
10/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
150/150 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.5 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.6 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
30/10 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15/>15 |
||
承载能力 |
3.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
21 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
100×100×15 |
mm |
|
重量 |
220 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(P18.X600，一维X，740μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P18.X600S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
600 |
µm±20% |
|
行程范围 |
740 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø35 |
mm±0.05 |
|
分辨率 |
15/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.25/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
150/150 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.3 |
kHz±20% |
|
承载能力 |
2 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
42 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
100×100×29.5 |
mm |
|
重量 |
380 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
|
|
说明：2路控制（带有恒压控制） |
|||
技术参数(P18.X900，一维X，1110μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P18.X900S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
900 |
µm±20% |
|
行程范围 |
1110 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø35 |
mm±0.05 |
|
分辨率 |
25/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.4/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
90/90 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.1 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.12 |
kHz±20% |
|
承载能力 |
1 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
63 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
100×100×57.5 |
mm |
|
重量 |
600 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
|
|
说明：2路控制（带有恒压控制） |
|||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
P18.XYZ、P18.X900尺寸图如下：
P18.XY200、P18.XY300、P18.X600尺寸图如下：
P18.X200、P18.X300尺寸图如下：
| 尺寸图下载 | |
| Auto CAD PDF |
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| Step |
|
| 参数表/Specs Sheet |
|
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