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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P63系列压电纳米定位台
P63 系列压电纳米定位台为小体积 1 至 3 维压电定位平台，内部采用 直驱机构，它的重要的特点是超精密且体积非常小巧，XYZ 三维运动版本 的尺寸仅为 30×30×42mm（X 向运动版本尺寸仅为 30×30×21mm）， 非常易于集成到任何扫描仪器中。 P63 系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统，是为 AFM、SPM、 STM 等显微扫描纳米操作等应用而设计的，具有超低惯性，响应时间可 达 0.3ms，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。
特点
• 1~3维自由组合 • 位移行程6.8μm • 亚毫秒响应时间 • 承载0.4kg • 重复定位精度可达纳米级
1-3 维平移台
P63系列压电纳米定位台，包括 X、Z、XY、XZ、XYZ 多种 运动方式可选，每轴的行程都可达6.8μm。超小体积易于集成配套。
应用实例：纳米切削
P63系列三维压电纳米定位台已广泛应用于基于SEM在线纳米切削平台的切削力测试实验中。
产品运动示意图
频率负载曲线
小体积、高精度、响应速度快
P63系列压电纳米定位台非常重要的特点是精度高、体积小巧，P63.XYZ三维压电运动平台的尺寸仅为30×30×42mm（一维X轴运动压电平台尺寸为30×30×21mm），易于集成到扫描仪器中。
P63系列压电纳米定位台是高精密纳米定位系统，是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的，惯性低，响应时间可达0.3ms，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率的高速扫描。
应用
• 光纤端面检测 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米光刻 •干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 •微加工/精密控制
技术参数（三维XYZ运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P63.XYZ7S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y、Z |
|
|
行程范围 （0 ~+120 V）, typ. |
5.5/轴 |
µm±20% |
|
行程范围（0~+150 V）, max |
6.8/轴 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
分辨率 |
0.2/0.1 |
nm |
|
线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
重复定位精度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad. |
|
推/拉力 |
7/2 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.9/Y1/Z1.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.9/Y0.95/Z1.2 |
KHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
1.5/0.3 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
200/>200 |
Hz±20% |
100%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
|
承载能力 |
400 |
g |
|
静电容量 |
0.8/轴 |
μF±20% |
|
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
30×30×42 |
mm |
|
重量 |
160 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
|
|
技术参数（二维XY运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P63.XY7S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y |
|
|
行程范围（ |
5.5/轴 |
µm±20% |
|
行程范围（ |
6.8/轴 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
分辨率 |
0.2/0.1 |
nm |
|
线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
推/拉力 |
8/2 |
N |
|
运动方向刚度 |
X1.2/Y1.4 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X1.3/Y1.9 |
KHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
1.5/0.3 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
500/>500 |
Hz±20% |
100%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
|
承载能力 |
500 |
g |
|
静电容量 |
0.8/轴 |
μF±20% |
|
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
30×30×30 |
mm |
|
重量 |
120 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
|
|
技术参数（二维XZ运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P63.XZ7S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Z |
|
|
行程范围 |
5.5/轴 |
µm±20% |
|
行程范围 |
6.8/轴 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
分辨率 |
0.2/0.1 |
nm |
|
线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad. |
|
推/拉力 |
9/2 |
N |
|
运动方向刚度 |
X1.2/Z1.5 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X1.5/Z1.6 |
KHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
1.5/0.3 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
500/>200 |
Hz±20% |
100%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
|
承载能力 |
500 |
g |
|
静电容量 |
0.8/轴 |
μF±20% |
|
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
30×30×33 |
mm |
|
重量 |
120 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
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|
技术参数（一维X运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P63.X7S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
行程范围 |
5.5 |
µm±20% |
|
行程范围 |
6.8 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
分辨率 |
0.2/0.1 |
nm |
|
线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<5 |
µrad. |
|
推/拉力 |
10/2 |
N |
|
运动方向刚度 |
1.5 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
2 |
KHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
1.5/0.3 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
1000/>1000 |
Hz±20% |
100%行程 |
200/>200 |
Hz±20% |
|
承载能力 |
800 |
g |
|
静电容量 |
0.8 |
μF±20% |
|
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
30×30×21 |
mm |
|
重量 |
70 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
|
|
技术参数（一维Z运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P63.Z7S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
标称行程范围 |
5.5 |
µm±20% |
|
行程范围 |
6.8 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
分辨率 |
0.2/0.1 |
nm |
|
线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<5 |
µrad. |
|
推/拉力 |
12/2 |
N |
|
运动方向刚度 |
2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
2.5 |
KHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
1.5/0.3 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
1000/>1000 |
Hz±20% |
100%行程 |
200/>200 |
Hz±20% |
|
承载能力 |
800 |
g |
|
静电容量 |
0.8 |
μF±20% |
|
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
30×30×24 |
mm |
|
重量 |
70 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
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|
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
P63.XYZ尺寸图如下：
| P63.XYZ尺寸图下载 | |
| Auto CAD PDF |
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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P63.XY尺寸图如下：
| P63.XY尺寸图下载 | |
| Auto CAD PDF |
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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P63.XZ尺寸图如下：
| P63.XZ尺寸图下载 | |
| Auto CAD PDF |
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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P63.X尺寸图如下：
| P63.X尺寸图下载 | |
| Auto CAD PDF |
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| Step |
|
| 参数表/Specs Sheet |
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P63.Z尺寸图如下：
| P63.Z尺寸图下载 | |
| Auto CAD PDF |
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| Step |
|
| 参数表/Specs Sheet |
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