XP-611系列压电纳米定位台-芯明天

压电纳米定位

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XP-611 系列压电纳米定位台为一维 X 轴或 Z 轴压电平移台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，可实现 X 轴或 Z 轴 100μm 的位移行程，柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高，是一维精密定位与扫描的理想选择。

特点

• 一维 X 轴或 Z 轴 • 小体积 • 位移行程 100μm • 毫秒级响应时间 • 纳米级定位精度

一维 X 轴或 Z 轴平移台

XP-611 系列压电纳米定位台，一维 X 或 Z 轴精密直线运动。

高精度、高可靠性与一致性,工业应用

芯明天 XP-611 系列定位台优异的设计结构，小巧的体积， 100μm 的行程，内置高可靠性压电陶瓷，装配高精度传感器，定位精度可以达到纳米级，产品一致性良好，已经应用于工业精密自动化加工领域。芯明天接受产品定制服务，下图为 XP-611 的定制型 XYZ 三维压电平台。

产品运动示意图

X向运动

Z向运动

频率负载曲线

高稳定性、高谐振频率、体积小巧

XP-611系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理，体积小巧、结构紧凑，XP-611.Z的尺寸仅为 35×35×22mm，易于与其他设备集成安装。

该系列定位台采用机构放大原理，位移可达 100μm，空载谐振频率高、响应速度快，100μm的阶跃时间为0.8ms，该系列产品以其高可靠性，高性价比等特点深得工业用户的青睐。

应用

• 光纤定位/光学扫描 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米光刻 • 干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 • 微加工/精密控制

技术参数（X向运动）

型号	尾缀S-闭环	XP-611.X100S XP-611.X100K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X
标称行程范围（0~120V）		80	μm±20%
行程范围（0~150V）		100	μm±20%
传感器类型		SGS/-
分辨率（16位）		7/4	nm
分辨率（24位）		2/0.2	nm
闭环线性度		0.2/-	%F.S.
重复定位精度		0.05/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<15	μrad
推/拉力		30/10	N
运动方向刚度		0.3	N/μm±20%
空载谐振频率		0.28	kHz±20%
空载阶跃时间		10/0.8	ms±20%
空载工作频率*	10%行程	100	Hz±20%
	100%行程	10
承载		1.2	kg
静电容量		1.8	μF±20%
工作温度范围**		-20~80	°C
材质		钢、铝
外形尺寸（长×宽×高）		35×35×20
重量		80	g±5%
出线长		1.5	m±10mm
传感/电压连接器***		LEMO
驱动电压可在0V~150V使用；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。

技术参数（Z向运动）

型号	尾缀S-闭环	XP-611.Z100S XP-611.Z100K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		Z
标称行程范围（0~120V）		80	μm±20%
行程范围（0~150V）		100	μm±20%
传感器类型		SGS/-
分辨率（16位）		7/4	nm
分辨率（24位）		2/0.2	nm
闭环线性度		0.2/-	%F.S.
重复定位精度		0.05/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<15	μrad
推/拉力		30/10	N
运动方向刚度		0.3	N/μm±20%
空载谐振频率		0.28	kHz±20%
空载阶跃时间		10/0.8	ms±20%
空载工作频率*	10%行程	100	Hz±20%
	100%行程	10
承载		1.2	kg
静电容量		1.8	μF±20%
工作温度范围**		-20~80	°C
材质		钢、铝
外形尺寸（长×宽×高）		35×35×20
重量		80	g±5%
出线长		1.5	m±10mm
传感/电压连接器***		LEMO	m±10mm
驱动电压可在0V~150V使用；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。