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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> N65系列压电纳米定位台
N65系列压电扫描台为XY轴平移扫描台，采用XY轴一体式结构设计压电陶瓷直驱机构，中心具有通孔尺寸为25×27.5mm，产品体 积小巧、性能稳定，N65系列扫描台为开环版本、动态性好，适用于动态扫描应用领域。
N65压电定位台是基于光学扫描应用而开发设计的，具有较高的谐振频率，采用小巧的结构设计，配以合适的透光孔，适合光学系统相关应用。
特点
• 二维XY向运动，行程15μm/轴 • 承载0.2kg • 椭圆通孔尺寸为25×27.5mm • 亚纳米级分辨率 • 响应速度快
台体采用直驱式机构设计，响应速度快
产品运动示意图
刚度大、分辨率高、谐振频率高
N65系列压电扫描台，采用压电陶瓷直驱机构设计，内置高性能压电陶瓷，产品体积小巧、结构紧凑，台面四角配有通孔，便于集成与安装。
N65压电扫描台以开环版本为主，具有高的分辨率，可达0.2nm。优异的结构设计使其具有3N/μm的高刚度，XY轴空载谐振频率均可达到1KHz，该产品是高速扫描应用的理 想选择。
满幅值阶跃时间图
N65系列压电扫描台配套芯明天大功率E00/E01系列压电控制 器，可实现满幅值阶跃时间为1.5ms。
频率负载曲线
应用
• 图像处理与稳定 • 红外热成像 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术
技术参数
型号 |
尾缀K-开环 |
N65.XY15K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y |
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运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
12 |
µm/轴±20% |
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行程范围 |
15 |
µm/轴±20% |
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通孔尺寸 |
25×27.5 |
mm |
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分辨率 |
0.2 |
nm，typ. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<5 |
µrad |
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机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/3 |
N |
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运动方向刚度 |
X3/Y3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X1/Y1 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
1.5 |
ms±20% |
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空载工作频率* |
10%行程 |
100 |
Hz±20% |
100%行程 |
20 |
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承载能力 |
0.2 |
Kg |
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驱动性能 |
|||
静电容量 |
0.7 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
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|
外形尺寸 |
57.91×52×10 |
mm |
|
重量 |
55 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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