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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> XP-63X系列压电纳米定位台
XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨 率高、响应速度快等特点，可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。
特点
• 位移15~60μm • 亚毫秒响应时间 • 承载5kg • 1~3维自由组合 • 重复定位精度可达0.05%F.S.
1~3维平移台
XP-63X系列压电纳米定位台可通过转接板连接， 组成XY，XZ，XYZ多种运动结构。多种规格型号可选。柔性铰链采用精密线切割技术。
产品外观
频率负载曲线
小体积、高精度、响应速度快
XP-63X系列压电纳米定位台结构设计，具有大机械刚度、大承载、高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有高的使用频率，响应时间可 以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载，响应时间仅为5ms。
XP-63X系列产品体积小巧，XP-630一维尺寸仅为60×45×18mm，易于与其他平台设备集成。
闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号 并反馈给闭环控制器，控制器通过PID算法对检测到的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。
应用
• 半导体技术 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米光刻 •干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术 •质量保证测试 •微加工/精密控制
应用实例：宏微复合机构
采用XP-633压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制，从而完成1mN的精确力控制实验。
技术参数（XP-630,15μm）
型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-630.XS |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
标称行程范围(0~120V) |
12 |
μm±20% |
|
行程范围(0~150V) |
15 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
闭/开环分辨率 |
0.5/0.1 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
μrad |
|
运动方向的推/拉力 |
480/80 |
N |
|
运动方向的刚度 |
40 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
3.2 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
1.5/0.8 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
200 |
Hz±20% |
100%行程 |
60 |
||
承载 |
5 |
kg |
|
静电容量 |
1.8 |
μF±20% |
|
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝、钢 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
60×45×18 |
mm |
|
重量 |
0.15 |
kg±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
|
|
驱动电压可在0V~150V使用;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。 |
|||
技术参数（XP-631,30μm）
型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-631.XS |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
标称行程范围(0~120V) |
24 |
μm±20% |
|
行程范围(0~150V) |
30 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
闭/开环分辨率 |
1/0.2 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<25 |
μrad |
|
运动方向的推/拉力 |
480/80 |
N |
|
运动方向的刚度 |
20 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
2.4 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
3/1.6 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
100 |
Hz±20% |
100%行程 |
30 |
||
承载 |
5 |
kg |
|
静电容量 |
3.6 |
μF±20% |
|
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝、钢 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
78×45×18 |
mm |
|
重量 |
0.25 |
kg±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
|
|
驱动电压可在0V~150V使用;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。 |
|||
技术参数（XP-633,60μm）
型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-633.XS |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
标称行程范围(0~120V) |
48 |
μm±20% |
|
行程范围(0~150V) |
60 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
闭/开环分辨率 |
2/0.3 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<30 |
μrad |
|
运动方向的推/拉力 |
480/80 |
N |
|
运动方向的刚度 |
10 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
1.5 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
5/3.2 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15 |
||
承载 |
5 |
kg |
|
静电容量 |
7.2 |
μF±20% |
|
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝、钢 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
114×45×18 |
mm |
|
重量 |
0.45 |
kg±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
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驱动电压可在0V~150V使用;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。 |
|||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
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