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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P77-D3压电纳米定位台/移相器
P77.D3压电式移相器是专为大口径光学检测仪器而设计的，中心通孔直径达160mm，承载能力可达10kg。台体配有连接器接口，方便连接。
特点
· 行程可达17.5μm · 承载可达10kg · 尺寸200×200×35mm · 通孔直径Ø160mm · 可正立/侧卧/倒置使用
应用
• 图像处理与稳定 • 移相器 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术
技术参数
型号 |
P77-D3 |
单位 |
完整型号 |
P77.Z20K-D3-W200 |
|
运动自由度 |
Z |
|
行程范围 |
14 |
µm±20% |
行程范围 |
17.5 |
µm±20% |
分辨率 |
0.5 |
nm，typ. |
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
空载谐振频率 |
0.14 |
kHz±20% |
空载阶跃时间 |
2.5 |
ms±20% |
承载能力 |
正立10/卧式5/倒置5 |
Kg |
静电容量 |
5.4 |
μF±20% |
工作温度范围 |
-20~80 |
°C |
材质 |
钢、铝 |
|
外形尺寸（ |
200×200×37 |
mm |
通孔尺寸 |
Ø160 |
mm |
重量 |
2400 |
g±5% |
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
传感/电压连接器 |
LEMO |
|
使用方式 |
正立/倒置/卧式 |
|
控制 |
1或3路控制 |
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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