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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> N62系列压电纳米定位台
N62系列二维压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为26mm，可以实现XY轴±10μm的位移行程，产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。适易于嵌入其他设备中，用于精密定位与微扫台。
特点
• 二维XY向运动，行程±10μm/轴 • 承载1kg • 台体中心方形通孔，尺寸为Ø26mm • 闭环重复定位精度高 • 开环、闭环可选
台体采用放大机构设计，运动行程范围大
产品运动示意图
高动态、高分辨率、高定位精度
N62系列压电扫描台为小体积高精度平移扫描台，是为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计的XY轴扫描台，内置压电陶瓷，可以实现XY轴±10μm的位移行程，分辨率可以达到0.1nm，满行程重复定位精度达纳米级。
产品采用不锈钢材质，特殊的结构设计使其具有大的刚度，可以实现谐振频率2000Hz，满足工业上对高频率高精度等应用的需求。
应用实例-红外热像仪
芯明天N62系列压电扫描台以其高频率、高分辨率等特点应用于红外热像仪中，提高了热像仪成像的分辨率。
频率负载曲线
平稳的扫描圆形驱动
精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳。
应用
• 图像处理与稳定 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析
N62定制结构
N62系列可根据您实际应用进行参数定制，如行程范围、承载、外形结构尺寸等，如下图所示，是为客户实际应用环境进行外形结构定制的产品。
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
N62.XY20S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y |
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运动和定位 |
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标称行程范围 |
±8/轴 |
µm/轴±20% |
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行程范围 |
±10/轴 |
µm/轴±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Ø26 |
mm |
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分辨率 |
0.25/0.1 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
44/44 |
N |
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运动方向刚度 |
X2.2/Y2.2 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X2/Y2 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
1.5/0.7 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
150/>150 |
Hz±20% |
100%行程 |
15/>15 |
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承载能力 |
1 |
Kg |
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驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.6 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
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外形尺寸 |
65×64×17.5 |
mm |
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重量 |
180 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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