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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P12系列压电纳米定位台
P12 系列压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3 维并联式平 移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选 25mm 或 35mm， 满足显微等应用。压电扫描台可以实现单轴 300μm 的位移 行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选， 以满足不同应用的需求。
特点
• 1~3 维 • 最大位移 300μm • 最大承载 0.8kg • 台体中心通孔 • 闭环重复定位精度高
1-3 维平移台
P12 系列压电纳米定位台为 1~3 维直线压电扫描台，包括 X、Z、XY、XZ、XYZ 等多种规格型号，通孔直径 25mm 或 35mm 可选。
P12.Z300闭环稳定时间图
P12系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性，下图为P12.Z300位移300μm闭环稳定时间图。
产品运动示意图
频率负载曲线
台体采用放大机构设计，运动行程范围大
小体积、大位移、中心通孔
P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，小体 积外形，尺寸仅为70×70×24mm，P12.XYZ-D3可以实现100μm/轴的扫描范围，中心通孔可选35mm或25mm，25mm通孔对应台体外形尺寸为60×60×24mm。
台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、高导向精度、纳米级分辨率等优点。 P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷，确保了扫描台的可靠性与稳定性。
应用
• 光纤端面检测 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米光刻 •干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 •微加工/精密控制
平稳的扫描圆形驱动
精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳。
技术参数（三维XYZ运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.XYZ100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y、Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø25（Ø35可选） |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
20/4 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.3/Y0.25/Z0.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.23/Y0.18/Z0.15 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
30/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
5/>5 |
||
承载能力 |
0.6 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
60×60×24 |
mm |
|
重量 |
260 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（二维XY运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.XY100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X,Y |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø25（Ø35可选） |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.03/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
25/8 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.25/Y0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.18/Y0.23 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
15 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
9/>9 |
||
承载能力 |
0.7 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
60×60×24 |
mm |
|
重量 |
200 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
|
|
技术参数（二维XZ运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.XZ100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø25（Ø35可选） |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.07/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.03/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
45/7 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.6/Z0.7 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.22/Z0.17 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
15/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
9/>9 |
||
承载能力 |
0.7 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
60×60×24 |
mm |
|
重量 |
200 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（一维X运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.X100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø25（Ø35可选） |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.01/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.23 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
10/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
9/>9 |
||
承载能力 |
0.8 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
60×60×24 |
mm |
|
重量 |
140 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（一维Z运动，100μm）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.Z100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围（0~120V） |
80 |
µm±20% |
|
行程范围（0~150V） |
100 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø25（Ø35可选） |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.01/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.22 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
10/0.8 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
100 |
Hz±20% |
100%行程 |
10 |
||
承载能力 |
0.8 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
60×60×24 |
mm |
|
重量 |
140 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（一维Z运动，200μm）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.Z200S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
160 |
µm±20% |
|
行程范围 |
200 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø25（Ø35可选） |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.03/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.15 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
15/1.6 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
100%行程 |
5 |
||
承载能力 |
0.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
3.6 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
60×60×24 |
mm |
|
重量 |
200 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（一维Z运动，300μm）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P12.Z200S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围（0~120V） |
160 |
µm±20% |
|
行程范围（0~150V） |
200 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø25（Ø35可选） |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.03/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.15 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
15/1.6 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
100%行程 |
5 |
||
承载能力 |
0.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
3.6 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
60×60×24 |
mm |
|
重量 |
200 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
φ25mm版本尺寸图如下：
| 尺寸图下载 | |
| Auto CAD PDF |
|
| Step |
|
| 参数表/Specs Sheet |
|
φ35mm版本尺寸图如下：
| 尺寸图下载 | |
| Auto CAD PDF |
|
| Step |
|
| 参数表/Specs Sheet |
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