 |
压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >>P15系列系列压电纳米定位台
P15压电扫描台是快速、高精度的三轴扫描和纳米定位台，具有非常高的直线度。中心通孔60×60mm，非常适于透射光应用，如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。
P15压电扫描台运动行程为300μm/轴，内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构。 FEA使其设计具有尽可能高的刚度，并使其更加线性、优化角度跳动。
P15压电扫描台可选配闭环反馈传感器，可提供更高的定位精度，非常适合高精度定位应用。与常规的闭环压电扫描台相比，P15系列在外观上略有不同，它的台体上具有两个出线孔，分别为PZT供电引线及闭环信号反馈引线。并且，P15系列压电扫描台的移动面，较台体平面高出一部分，更易辨别。
特点
· XYZ三维运动 · 运动行程：300μm/轴 · 通孔尺寸：60×60mm · 无摩擦、高精度挠性导向系统
闭环上升曲线
应用
· 扫描显微镜 · 掩模/晶圆定位 · 干涉 · 度量衡学 · 生物技术 · 微操作
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
P15.XYZ300S |
单位 |
运动自由度 |
X、Y、Z |
|
|
标称行程范围 |
240 |
μm±20% |
|
行程范围 |
300 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
60×60 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
13/6 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<30 |
μrad |
|
推/拉力 |
50/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.1 |
N/um±20% |
|
空载谐振频率 |
X450/Y550/Z120 |
Hz±20% |
|
闭/开环空 |
60/10 |
ms±20% |
|
闭环空载 |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
10/>10 |
||
承载能力 |
0.5 |
kg |
|
静电容量 |
10.8/轴 |
μF±20% |
|
材质 |
铝合金 |
|
|
重量 |
900 |
g±5% |
|
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
联系我们
哈尔滨芯明天科技有限公司
总机：0451-86268790
传真：0451-86267847
邮箱：info@coremorrow.com
网址：www.coremorrow.com
地址：黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
| 关于我们 | 产品中心 | 产品应用 | 联系我们 |
请关注芯明天微信公众号或芯明天官网：www.coremorrow.com www.coremorrow.cn获取更多信息。
