P17系列压电纳米定位台-芯明天

压电纳米定位

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P17系列压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴187.5μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

P17.XY二维XY轴压电扫描台，行程可达187.5μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，适合于显微及扫描中的样品定位。

特点

• 二维XY向运动，行程187.5μm/轴 • 承载1kg • 台体中心方形通孔，尺寸为60×60mm • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快

台体采用放大机构设计，运动行程范围大

产品运动示意图

大通孔、大行程、稳定性好、响应快

P17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台，可以实现XY轴187.5×187.5μm的位移行程，优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、响应时间可达5毫秒。

闭环版本采用高精度的传感反馈，与E00/E01系列闭环控制器配套使用，具有高的稳定性。台体中心 60×60mm大通孔，适合工业自动化中的晶圆定位或微操作等应用。

应用实例-晶圆定位

P17系列压电扫描台适用于需要大行程高精度的应用，该产品已经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。与芯明天压电物镜定位器配套用于晶圆定位，可带动晶圆做XY轴187.5μm行程范围的纳米级精密定位。

频率负载曲线

平稳和准确的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。

应用

• 图像处理与稳定 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析

技术参数