 |
压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P78.Z100压电纳米定位台
压电扫描台P78.Z100-D1是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的压电扫描台，它的外形结构易于集成于显微仪器设备中。压电扫描台P78.Z100-D1的Z向运动范围可达100µm。
压电扫描台P78.Z100-D1对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。它的高度仅25mm，中心具有120×70mm的通孔，可提供亚纳米级分辨率的高精度运动。
压电扫描台P78.Z100-D1可选配桥式配置的闭环传感器，可消除温度漂移，保证了纳米范围的定位稳定性。
压电扫描台P78.Z100-D1的结构经过FEA建模仿真分析设计，无间隙、无摩擦，具有极高的运动精度。同时，通过FEA优化了直线度与平面度，为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。因其并联运动学的设计，将扫描台的质量尽可能缩小，使结构更紧凑、响应速度更快。
特点
• 行程范围可达100µm • Z向分辨率可达4nm • 承载能力可达1kg • 通孔尺寸为120×70mm • 高度仅25mm • 应用于Z向显微扫描
应用
• 图像处理与稳定 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析
技术参数
型号 |
S-闭环 |
P78.Z100S-D1 |
单位 |
运动自由度 |
Z |
|
|
运动与定位 |
|||
行程范围 |
80 |
µm±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
120×70 |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
120/15 |
N |
|
运动方向刚度 |
1.5 |
N/um±20% |
|
空载谐振频率 |
200 |
Hz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
30/5 |
ms |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15/>15 |
Hz±20% |
|
承载能力 |
1 |
Kg, max |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
5.4 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
℃ |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
154×136×25 |
mm |
|
重量 |
560 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
联系我们
哈尔滨芯明天科技有限公司
总机：0451-86268790
传真：0451-86267847
邮箱：info@coremorrow.com
网址：www.coremorrow.com
地址：黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
| 关于我们 | 产品中心 | 产品应用 | 联系我们 |
请关注芯明天微信公众号或芯明天官网：www.coremorrow.com www.coremorrow.cn获取更多信息。
