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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> N12系列压电纳米定位台
N12 系列压电扫描台为 1~3 维并联式平移扫描台，台 体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采 用有限元仿真分析优化结构，具有超高的导向精度、高刚性、 大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进 行全闭环反馈，实现满行程 0.04% 的重复定位精度。
特点
• 最大位移 100μm • 最大承载 0.7kg • 台体中心方形通孔 45×45mm • 闭环重复定位精度高 • 开 / 闭环可选
放大机构设计，运动行程范围大
产品运动示意图
大位移、大承载、高刚度、高频响
N12 系列纳米定位台体积非常小巧，位移可达 100μm。独 特的平行运动学设计原理，使得平台可以实现 XYZ 轴高速精密运 动。这款产品的应用非常广泛，从光学研究到工业化OEM系统等。 该系列压电扫描台的通光孔为 45×45mm。高刚度以及优异 的直线性使其成为光学、激光领域纳米级精密定位应用的首选。
闭环传感定位精度高
N12系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。 N12.XYZ压电扫描台配套芯明天E01系列模块化控制器应用于光学显微成像，实现XYZ轴精密扫描。
频率负载曲线
平稳和准确的扫描圆形驱动
精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。
应用
• 图像处理与稳定 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析
技术参数(三维XYZ运动)
型号 |
尾缀S-闭环 |
N12.XYZ100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y、Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围（0~120V） |
80 |
µm/轴±20% |
|
行程范围（-20~150V） |
100 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
45×45 |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
20/4 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.3/Y0.25/Z0.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.2/Y0.15/Z0.12 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
30/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
30/>30 |
Hz±20% |
100%行程 |
4/>4 |
||
承载能力 |
0.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
85×85×28 |
mm |
|
重量 |
350 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(二维XY运动)
型号 |
尾缀S-闭环 |
N12.XY100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
45×45 |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
25/8 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.25/Y0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.17/Y0.2 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
15/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
55/>55 |
Hz±20% |
100%行程 |
7/>7 |
||
承载能力 |
0.7 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
85×85×28 |
mm |
|
重量 |
290 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(二维XZ运动)
型号 |
尾缀S-闭环 |
N12.XZ100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
45×45 |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
25/8 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.3/Z0.25 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.2/Z0.15 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
15/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
6/>6 |
||
承载能力 |
0.7 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
85×85×28 |
mm |
|
重量 |
290 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(一维X运动)
型号 |
尾缀S-闭环 |
N12.X100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
45×45 |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.04/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.23 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
10/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
60/>60 |
Hz±20% |
100%行程 |
8/>8 |
||
承载能力 |
0.7 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
85×85×28 |
mm |
|
重量 |
240 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(一维Z运动)
型号 |
尾缀S-闭环 |
N12.Z100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
0~120V行程范围 |
80 |
µm±20% |
|
0~150V行程范围 |
100 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
45×45 |
mm |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.04/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.2 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
10/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
65/>65 |
Hz±20% |
100%行程 |
8/>8 |
||
承载能力 |
0.7 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
85×85×28 |
mm |
|
重量 |
240 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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