 |
压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P11系列压电纳米定位台
P11 系列压电纳米定位台为小体积 1~3 维压电平移台，平台内部采用无摩擦 柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电 陶瓷，可实现 100μm 位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分 析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、 无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有极佳的控制精度，分辨率和稳定性可以 达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程 中不受磁场的影响，压电定位台体积小、结构紧凑易于集成。
特点
• 1~3 维运动 • 位移行程 100μm • 体积小巧 • 毫秒级响应时间 • 纳米级定位精度
1~3 维平移台
P11 系列压电纳米定位台，包括 X、Z、XY、XZ、XYZ 等多 种运动结构。可以实现 100μm 的精密运动。
宏微复合机构
产品运动示意图
频率负载曲线
大行程、闭环定位精度高、响应速度快
P11 系列纳米定位台采用机构放大设计原理，内置高可靠性 压电陶瓷作为驱动源，可以实现 1~3 维 100μm 的精密运动。 该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本 采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天 E00/ E01、E72/E73、E52/E53 等系列闭环压电控制器可以实时对位移 进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制。 P11 系列压电纳米定位台的响应速度非常快，配套 E52 系列 压电控制器可实现 0.8ms 的阶跃时间。
应用
• 光纤定位/光学扫描 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米定位 • 干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 • 微加工/精密控制
技术参数（三维XYZ运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P11.XYZ100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y、Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/5 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.25/Y0.3/Z0.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.2/Y0.3/Z0.18 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
20/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
5/>5 |
||
承载能力 |
0.6 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
40×40×36.5 |
mm |
|
重量 |
230 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（二维XY运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P11.XY100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.02/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
25/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.25/Y0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.2/Y0.3 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
15/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
9/>9 |
||
承载能力 |
0.7 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
40×40×36.5 |
mm |
|
重量 |
170 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（二维XZ运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P11.XZ100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|
||
运动自由度 |
X、Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.02/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
25/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.25/Z0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.2/Z0.3 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
15 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
9/>9 |
||
承载能力 |
0.7 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
40×40×36.5 |
mm |
|
重量 |
170 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（一维X运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P11.X100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
80 |
µm±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.01/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.3 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
10 |
N |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
9/>9 |
||
承载能力 |
0.8 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
40×40×22 |
mm |
|
重量 |
100 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数（一维Z运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P11.Z100S/K |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
标称行程范围 |
80 |
µm±20% |
|
行程范围 |
100 |
µm±20% |
|
分辨率 |
7/4 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
重复定位精度 |
0.01/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.3 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
10/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
10/>10 |
||
承载能力 |
0.8 |
kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
40×40×22 |
mm |
|
重量 |
100 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
P11.XYZ、P11.XY、P11.XZ、P11.Z200/300尺寸图如下：
P11.X、P11.Z100尺寸图如下：
| 尺寸图下载 | |
| Auto CAD PDF |
|
| Step |
|
| 参数表/Specs Sheet |
|
联系我们
哈尔滨芯明天科技有限公司
总机：0451-86268790
传真：0451-86267847
邮箱：info@coremorrow.com
网址：www.coremorrow.com
地址：黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
| 关于我们 | 产品中心 | 产品应用 | 联系我们 |
请关注芯明天微信公众号或芯明天官网：www.coremorrow.com www.coremorrow.cn获取更多信息。
