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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> IT.Z1000系列压电纳米定位台
IT.Z1000电容传感式压电平移台为Z轴平移运动平台，行程可达1mm，电容式闭环控制，定位精度可达纳米级，可应用于高精密光学测量、生物科技、原子力显微镜等应用领域。
特点
• 行程1mm • 皮米级分辨率 • 电容式闭环控制 • 闭环定位精度高
分辨率高
电容传感器闭环
电容闭环传感器的精度优于其他形式的闭环传感器，其精度可达满行程的0.001%。
产品运动示意图
应用
• 精密定位 • 生物显微 • 光学显微成像 • 细胞穿透
技术参数
型号 |
IT.Z1000 |
单位 |
运动自由度 |
Z |
|
行程范围 |
1000 |
μm±20% |
传感形式 |
高分辨率电容传感器 |
|
分辨率 |
400 |
picometer |
线性度 |
0.001 |
%F.S. |
响应频率 |
500 |
Hz |
负载 |
1 |
Kg |
台体重量 |
1000 |
g |
尺寸图
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