P66系列压电纳米定位台-芯明天

压电纳米定位

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P66 系列压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的一至三维运动的压电位移平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等，已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

特点

• 位移可选 30 或 60μm • 承载能力 5kg • 重复定位精度可达 12nm • 亚毫秒响应时间 • 开环闭环可选 • 直驱机构

1-3 维平移台

根据运动自由度及运动方向，P66 系列可分为以下五个型号： P66.X（X 向运动）、P66.Z（Z 向运动）、P66.XY（XY 向运动）、 P66.XZ（XZ 向运动）、P66.XYZ（XYZ 向运动），每轴的行程可达34μm。

应用实例：原子力探针扫描显微镜

芯明天P66.XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。

产品运动示意图

频率负载曲线

开环与闭环版本可选

P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。

传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复度。

应用

• 光纤端面检测 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米光刻 •干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 •微加工/精密控制

技术参数（三维XYZ运动）

型号	尾缀S-闭环	P66.XYZ30S P66.XYZ30K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X、Y、Z
行程范围	0 ~+120 V	24/轴	µm±20%
	0~+150 V	30/轴	µm±20%
传感器类型		SGS/-
分辨率		1.5/0.7	nm
闭环线性度		0.1/-	%F.S.
重复定位精度		0.05/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<15	µrad
推/拉力		80/15	N
运动方向刚度		X2.8/Y3/Z3.2	N/µm±20%
空载谐振频率		X1.2/Y0.8/Z0.5	kHz±20%
空载阶跃时间		10/0.8	ms±20%
空载工作频率	10%行程	150/>150	Hz±20%
	100%行程	15/>15
承载能力		3.5	Kg±5%
静电容量		3.6/轴	μF±20%
材质		铝
重量		500	g±5%
出线长		1.5	m±10mm

技术参数（二维XY运动）

型号	尾缀S-闭环	P66.XY30S P66.XY30K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X、Y
行程范围	0 ~+120 V	24/轴	µm±20%
	0~+150 V	30/轴	µm±20%
传感器类型		SGS/-
分辨率		1.5/0.7	nm
闭环线性度		0.05/-	%F.S.
重复定位精度		0.05/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<15	µrad
推/拉力		120/15	N
运动方向刚度		X4/Y4.2	N/µm±20%
空载谐振频率		X1.1/Y1.8	kHz±20%
空载阶跃时间*		5/0.8	ms±20%
空载工作频率**	10%行程	260/>260	Hz±20%
	100%行程	25/>25
承载能力		4.5	Kg±5%
静电容量		3.6/轴	μF±20%
工作温度范围***		-20~80	°C
材质		铝
外形尺寸（长×宽×高）		60×60×32	mm×mm×mm
重量		260	g±5%
出线长		1.5	m±10mm

技术参数（二维XZ运动）

型号	尾缀S-闭环	P66.XZ30S P66.XZ30K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X、Z
行程范围	0 ~+120 V	24/轴	µm±20%
	0~+150 V	30/轴	µm±20%
传感器类型		SGS/-
分辨率		1.5/0.7	nm
闭环线性度		0.1/-	%F.S.
重复定位精度		0.08/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<15	µrad
推/拉力		30/10	N
运动方向刚度		1.1	N/µm±20%
空载谐振频率		X1.5/Z0.8	kHz±20%
空载阶跃时间*		20/1	ms±20%
空载工作频率**	10%行程	60/>60	Hz±20%
	100%行程	6/>6
承载能力		1	Kg±5%
静电容量		3.6/轴	μF±20%
工作温度范围***		-20~80	°C
材质		铝
外形尺寸（长×宽×高）		60×60×32	mm×mm×mm
重量		320	g±5%
出线长		1.5	m±10mm

技术参数（一维X运动）

型号	尾缀S-闭环	P66.X30S P66.X30K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X
运动和定位
传感器类型		SGS/-
行程范围	0~120 V	24	µm±20%
	0~150 V	30	µm±20%
分辨率		1.5/0.7	nm，typ.
闭环线性度		0.05/-	%F.S.
重复定位精度		0.05/-	%F.S.
倾斜/偏航/滚动		<15	µrad
机械性能
运动方向刚度		5	N/µm±20%
空载谐振频率		2.6	kHz±20%
空载工作频率*	10%行程	500/>500	Hz±20%
	100%行程	50/>50
阶跃时间**		4/0.6	ms±20%
运动方向推/拉力		150/15	N
承载能力		5	kg
驱动性能
静电容量		3.6	μF±20%
其他
工作温度范围***		-20~80	°C
材质		铝
外形尺寸（长×宽×高）		60×60×16	mm×mm×mm
重量		120	g±5%
出线长		1.5	m±10mm
传感/电压连接器		LEMO

技术参数（一维Z运动）

型号	尾缀S-闭环	P66.Z30S P66.Z30K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X
运动和定位
传感器类型		SGS/-
行程范围	0~120 V	24	µm±20%
	0~150 V	30	µm±20%
分辨率		1.5/0.7	nm，typ.
闭环线性度		0.1/-	%F.S.
重复定位精度		0.05/-	%F.S.
倾斜/偏航/滚动		<15	µrad
机械性能
运动方向刚度		1.1	N/µm±20%
空载谐振频率		1.6	kHz±20%
空载工作频率*	10%行程	80	Hz±20%
	100%行程	8
运动方向推/拉力		150/15	N
承载能力		1	kg
驱动性能
静电容量		3.6	μF±20%
其他
材质		铝
外形尺寸（长×宽×高）		60×60×16	mm×mm×mm
重量		200	g±5%